Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Система Etch Иона Кораблей Tegal Глубокая Реактивная После Приема Номенклатур Товаров AMMS

Published on November 12, 2008 at 10:20 AM

Tegal Корпорация (NASDAQ: TGAL), ведущий конструктор и изготовление etch плазмы и систем низложения, объявленные сегодня что Компания грузила систему etch иона Tegal 200SE ICP глубокую (DRIE) реактивную к ведущему поставщику субстратов и обслуживаний в рынках интегральной схемаы и датчика MEMS. Новая система Tegal DRIE в настоящее время устанавливается на плавильню продукции 150mm клиента.

«Tegal очень довольный для того чтобы грузить нашу первую Систему Etch Кремния Tegal 200SE ICP следовать нашим приемом номенклатур товаров Систем Alcatel Микро- (AMMS) Подвергая механической обработке в Сентябрь,» сказал Томасу Mika, Президенту и генеральному директору Tegal Корпорации. «Мы работали очень крепко для того чтобы сделать сбывания и квалификацию отростчатое безшовное для нашего клиента, который добавлял систему DRIE Tegal к своему существующему комплекту инструмента. Факт что этот клиент сделал выбор для Tegal, после работы в продукции MEMS на много лет, сильный жироприказ достижения Tegal/AMMS 200SE для продукци-доказанного представления.»

Система Tegal 200SE high-density инструмент etch плазмы отличая индуктивно соединенным реактором etch плазмы и магнитным удерживанием плазмы. Инструмент может работать Процесс Коэффициента Сжатия ОСТРОГО &ndash Tegal запатентованный Супер Высокий, достигая вытравленных коэффициентов сжатия характеристики > 100:1 в промышленных средах. Вместе с своей высокой надежностью, обширное отростчатое окно, и высокий etch классифицирует, система Tegal 200SE критический enabler для вытравлять Кремний и субстраты SOI нашли в MEMS/MOEMS, фотовольтайческо, био-технике и высок-напряжении тока рынки.

Last Update: 14. January 2012 17:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit