Carl Zeiss Recebe PROVA o Pedido de Samsung Electronics

Published on January 8, 2009 at 6:09 AM

Carl Zeiss SMT recebeu o pedido seguinte para seu Registo do Photomask e Overlay o Sistema PROVE™ de Samsung Electronics, o Fabricante Integrado Coreano da Metrologia do Dispositivo. O pedido foi colocado consecutivamente após um pedido recente do fornecedor principal NuFlare do escritor da máscara do e-feixe.

“Considerando a situação actual do mercado, esta é um sucesso notável. Estes pedidos confirmam claramente que PROVE™ com seus sistemas óticos de alta resolução da imagem lactente 193nm é uma tecnologia de possibilidade para a fabricação da máscara no nó 32nm e além. Para estratègica empresas de funcionamento, apesar de se são fabricantes do escritor da máscara, IDM ou lojas da máscara não há nenhuma alternativa mas para trabalhar com tecnologia do registo de ZEISS se querem encontrar e exceder seus mapas rodoviários agressivos.” Dr. Oliver Kienzle dos estados, Membro da Placa na divisão de Sistemas da Metrologia do Semicondutor de Carl Zeiss SMT (SMS).

O sistema novo PROVE™ da metrologia foi desenvolvido por uma equipe de mais de 40 coordenadores de Carl Zeiss SMT e é apoiado por SEMATECH.

Last Update: 14. January 2012 11:42

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit