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自動化された UV-NIL Nanoimprint の石版印刷システム - EV のグループからの I.Q. のアライナ

自動化された UV-NIL Nanoimprint の石版印刷システム - EV のグループからの I.Q. のアライナ

I.Q. のアライナの紫外 Nanoimprint の石版印刷 (UV-NIL) システムは 150 の mm からの 300mm の直径にスタンプそしてウエファーとの micromolding、 nanoimprinting プロセスを可能にします。 高い収穫の大きい領域の印刷のための均一接触力は EV のグループの柔らかさおよび堅いスタンプを両方サポートする専有チャックデザインによって提供されます。 構成は捺印された基板からのスタンプのためのリリースメカニズムが含まれています。

I.Q. のアライナ UV-NIL システムの機能

  • 光学要素の micromolding アプリケーションのため
  • 全視野の nanoimprinting アプリケーションのため
  • スタンプと基板間の優秀なウェッジの補償のための 3 つの単独制御 z スピンドル
  • 押印の TTV 制御のための 3 つの単独制御 z スピンドルは抵抗します
  • 柔らかさの働きのスタンプを利用する柔らかい UV-NIL プロセス
  • EVG の所有物の十分に自動化された非浮彫りになる機能
  • Resist 端末の統合を分配します
  • とらわれのアラインメントおよび紫外線結合の機能

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