步進自動化的 Nanoimprint 的石版印刷 - EVG770 零步進從 EV 組

步進 EV 組的 EVG770 自動化的 Nanoimprint (NIL) 的石版印刷為步驟和重複大區紫外Nanoimprint 石版印刷 (UV-NIL) 進程設計兼容 100 mm 至 300 mm 薄酥餅。 零步進蓋子應用喜歡生命科學,光學要素,掌握, 3D 石版印刷和 R&D 半導體設備的。

EVG770 的功能自動化步進的零包括:

  • 吸塵印在空轉在聚合物層的 a,消滅被困住的航空泡影最終造成的缺陷問題造成優越模式保真度
  • 對齊這個印花稅和薄酥餅到聯絡自由的楔子報酬的理想的並行性的光學傳感器
  • 通過一個沒有接觸的軸承系統 Chuck 移動減少微粒汙穢
  • 與準確性的高精密度的對準線系統在內 +/-500 nm; 細致的對準線: 50nm (選項)
  • embossing/de 裝飾的強制的負荷細胞評定,改進版本記錄均一和進程可靠性由於活力控制和允許實時,原地描述特性多種商業可用抵抗和反停留層
  • 靈活的設備自動化級別,使零步進,一個容易和經濟轉移由 R&D 與小型或大容積製造
  • 縮短製造週轉時間的事實上模板形狀因子
  • 支持主機的功能的商業可用抵抗與在 1 之間的變化的黏度對幾 1,000 mPas,改進微造型的處理靈活性和 nanopatterning

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