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Carl Zeiss Introduce el Nuevo Sistema de Inyección del Gas para ORIÓN Más el Microscopio de Ión del Helio

Carl Zeiss introdujo hoy un nuevo Sistema de Inyección del Gas para el ORION® Más el Microscopio de Ión del Helio. La combinación de una antena del sub-nanómetro (menos que 0.35nm) de los iones del gas inerte con un pequeño volumen de la acción recíproca en la superficie de la muestra activa químicas altamente exactas de la inducción. Las estructuras resultantes tienen sions del dimen- y fidelidad extremadamente pequeños del alto nivel. Esta tecnología del descubrimiento se está revelando en la Conferencia de M&M 2010 en Portland, Oregon, 1-5 de agosto.

El Dr. Paul Alkemade en el Instituto de Kavli de la ciencia Nana, Universidad Tecnológica de la Cerámica de Delft, es uno de los investigadores tempranos en de ión-inducido helio position y aguafuerte. Según el Dr. Alkemade, “El instrumento óptimo para la nanofabricación requiere la alta resolución espacial y la alta eficiencia de deposición. Afortunadamente, el haz de ión del Helio en el ORIÓN Más el instrumento proporciona a la resolución para la deposición que es incluso mejor que lo lograda por un microscopio electrónico de exploración (SEM). Además, el haz de ión del Helio proporciona a las eficiencias de deposición que son muy similares a ésas logradas con un instrumento enfocado pesado del haz de ión del ión (GA (FIB)). Con la integración de un Sistema de Inyección del Gas, el Microscopio de Ión del Helio de ORIÓN está demostrando ser el instrumento derecho para la investigación de la nanofabricación.”

Los mandos para el Sistema de Inyección del Gas (GIS) son inconsútil integrados a través del ORIÓN Más software del sistema. La unidad de los SOLDADOS ENROLLADOS EN EL EJÉRCITO contiene tres crisoles capaces de entregar la deposición del metal y del aislador y químicas del grabado de pistas del aislador. Las recetas programables del Utilizador se pueden crear y el tener en cuenta revocada procesos complejos de la deposición y del grabado de pistas. El Sistema de Inyección del Gas en el Orión Más crea una plataforma potente y flexible activando aplicaciones avanzadas de la nanofabricación.

Para aprender más sobre este revelado emocionante, visite por favor a Carl Zeiss SMT en la cabina 1274 en la Conferencia de M&M 2010 en Portland, Oregon, o haga contacto con su representante de ventas de Carl Zeiss SMT.

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