Группа EV для того чтобы Достигнуть более Высоких Уровней Эффективности Изготавливания Стартом системы ДЖЕМИНИ FB

Группа EV (EVG), ведущий поставщик оборудования выпуска облигаций и литографирования вафли для MEMS, нанотехнологии и рынков полупроводника, сегодня объявили что он запускает новую модель корабля- флагмана в своем пол-доказанном семействе выпуска облигаций вафли сплавливания ДЖЕМИНИ FB которое увеличивает объём системы до до 20 вафель в час.

Подъем включает увеличенные возможности автоматизации для того чтобы позволить клиенты достигнуть более высоких уровней эффективности изготавливания для таких применений каким задняя сторона осветила (BSI) датчики изображения CMOS, внедрение 3D датчиков изображения CMOS, и монолитовое внедрение 3D приборов памяти.

Система ДЖЕМИНИ FB EVG конструирована для интегрированных и автоматизированных нагрузки вафли, выравнивания, выпуска облигаций и разгржать скрепленных вафель до 300 mm в диаметре. Компания сообщает что оно уже получила заказы от главных интегрированных изготовлений прибора для модернизированной платформы, при поставки slated для конца этого календарного года.

Согласно Паылю Lindner, исполнительный директор технологии для EVG, «Мы продолжаемся увидеть требование среди наших клиентов для более высоких выходов и объём для того чтобы увеличить их рентабельность инвестиций. На EVG, наше зрение быть первым в исследовать новые методы для того чтобы достигнуть этих увеличений--позволяющ мы адресовать применения следующего поколени которые leverage micro и технологии nanofabrication. Как часть того зрения, мы постоянно фокусируем на innovating наши номенклатуры товаров с повышениями как это самое последнее выдвижение к нашей платформе ДЖЕМИНИ FB корабля- флагмана--система связи вафли сплавливания 300 mm индустрии первая пол-доказанная охотно - доступная.»

Эти самые последние повышения для того чтобы форсировать объём платформы ДЖЕМИНИ FB часть инициативы EVG корпоративной для того чтобы снабдить стандарты 300 mm Основные через много из своих ведущих в отрасли платформ оборудования. Специфически, EVG включало местный материальный буфер, которому больше чем удваивает номер FOUPs (передним стручков унифицированных отверстием) на системе до 10 для непрерывной деятельности режима. EVG также использовало новую, более быструю систему управления вафли в платформе ДЖЕМИНИ FB--используя effectors двойн-конца на робототехнической системе сравнил к effectors одиночн-конца.

Главная особенность платформы ДЖЕМИНИ FB включает активацию плазмы низкой температуры, которая включает выпуск облигаций вафли низкой температуры (градус цельсий <400) и отжиг усилия/повреждения свободный--критический элемент для датчика изображения CMOS и применений внедрения 3D. EVG также увеличило свою собственническую технологию SmartViewR, которая позволяет для выравнивания скрепления универсалии для лицом к лицу, выравнивание задней стороны, ультракрасных и прозрачных вафель до 300 mm с меняя толщиной и материалами--поставляющ самую лучшую точность юстировки доступную сегодня. Повышения к системе выравнивания SmartView включают новое ПО которое оптимизирует отростчатые последовательности и скорость. С этими совмещенными повышениями к платформе ДЖЕМИНИ FB, EVG демонстрировало увеличение 26 процентов в объём--приводить к в скоростях вафли до 18-20 скрепляет в час, в зависимости от конфигурации камеры, применений клиента и отростчатых рецептов.

EVG будет показывать на SEMICON Тайвани, которое будет держаться 7-ое-9 сентября 2011 в Тайбэй, Тайвани. Средства и аналитики интересуемые в учить больше о компании и своих новейших разработках ободрены посетить будочку #2506 EVG. В добавлении, несколько экзекьютивов EVG во время тридневного длиннего случая. Посещение www.semicontaiwan.org/en/ для больше информации.

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit