LSMA-175 シリーズによってモーターを備えられるアクチュエーター 200 までの mm によって構築される統合された複数の斧 XYZ システムは旅行を提供します。 精密ゴロねじが付いているブラシレスかステッピングモーターによって運転されてこれは段階の提供の高解像の 0.1 ミクロンまでモーターを備えました。 高リゾリューションとともに主な特長が高精度の測定および製造システムの統合のための装置理想を作ると同時にアクチュエーターに控えめで安定性が高くコンパクトな、単一デザインがあります。
指定
- 200 x 200 x 200 の mm までの旅行領域
- 解像度 0.1 ミクロン
- 搭載能力 8 つの kg
- 直線性 5 ミクロン