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Hochgeschwindigkeits-, Ultraprecise Nanopositioning-Anlage - NPS-X-15A von Queensgate-Instrumenten

Die NPS-X-15A nanoposition Anlage ist speziell für große Geschwindigkeit, ultra Präzision HERR Kopf und Laufwerkprüfung bestimmt worden.

Seine kleine und MillisekundenAntwortzeit machen es Ideal für Anwendungen, in denen hohe Zuverlässigkeit und Durchsatz wesentlich sind. Eine niedrige bewegliche Masse und eine hohe Steifheit kombinieren, um extrem hohe Bandweite anzubieten.

Eine neue kapazitive Fühlerauslegung stellt das Unternm Distanzadressemaß und das Regelfeedback über einer Reichweite über 16 Mikrons zur Verfügung. Biegungslenkung bietet hohen Reinheitsgrad des Antrages an, wenn der parasitäre Antrag auf weniger als 5 microradians verringert ist. Kombiniert mit Queensgates digitalen Regelcontrollern, kann das NPS-X-15A Millisekundenantwort und Bankzeiten erzielen.

Merkmale

Merkmale der NPS-X-15A nanoposition Anlage umfassen:

  • > Arbeitsweg mit 15 Mikrometern mit Unternm Auflösung
  • Erste Eigenfrequenz > 3 KHz
  • MillisekundenAntwortzeit mit einer Belastung von 50 g
  • In-situscannen- und Sprungantwortoptimierung
  • Robust und zuverlässig für Produktionsversuch
  • Bedienungsfertige Teildienste für niedrige Ausfallzeit

Anwendungen

Die NPS-X-15A nanoposition Anlage kann für verwendet werden:

  • HERR Kopf und Laufwerkprüfung
  • Interferometrie

Last Update: 19. April 2012 11:19

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