Nanopositioning 高速、 Ultraprecise システム - Queensgate の器械からの NPS-X-15A

NPS-X-15A の nanoposition システムは高速、超精密氏ヘッドおよびディスク・ドライブのテストのためにとりわけ設計されていました。

その小型およびミリ秒の応答時間はそれに高い信頼性およびスループットが必要であるアプリケーションのための理想をします。 低い移動大容量および高い剛さは非常に高い帯域幅を提供するために結合します。

新しい容量性センサーデザインは 16 ミクロン以上範囲上の副ナノメーターの変位の測定そしてクローズド・ループフィードバックを提供します。 たわみの指導は 5 つ以下の microradians に減らされて寄生動きが動きの高い純度を、提供します。 Queensgate のデジタル閉ループ制御器と結合されて、 NPS-X-15A はミリ秒の応答および演算時間を達成できます。

機能

NPS-X-15A の nanoposition システムの機能は下記のものを含んでいます:

  • > 副ナノメーターの解像度の 15 マイクロメートル旅行
  • 最初共振周波数 > 3 つの KHz
  • 50 g のロードとのミリ秒の応答時間
  • In-situ スキャンおよびステップ応答の最適化
  • 生産テストのために強く、信頼できる
  • 低い補充所要時間のプラグアンドプレイ機能

アプリケーション

NPS-X-15A の nanoposition システムはのために使用することができます:

  • 氏ヘッドおよびディスク・ドライブのテスト
  • インターフェロメトリー

Last Update: 19. April 2012 11:19

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