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Piezo スキャンされたたわみによって導かれる段階 - Queensgate の器械からの NPS-Z-15B

NPS-Z-15B は統合されたキャパシタンス位置センサーが付いている piezo スキャンされたたわみによって導かれる nanopositioning 段階です。 それは副ナノメーターの解像度および再現性が可能です。 この段階はスキャンすると同時に極端に低い角の偏差があるように設計されていました。

それは動きの純度が重要のスキャンのプローブの顕微鏡検査およびインターフェロメトリーの使用にとって理想的です。

機能

NPS-Z-15B の nanopositioning 段階の機能は下記のものを含んでいます:

  • > 副ナノメーターの解像度の 15 マイクロメートル旅行
  • < 0.005% ヒステリシスおよび直線性のエラー
  • 最初共振周波数 > 1.8 KHz
  • 高い帯域幅 (> 300 の Hz) および速い応答時間
  • In-situ スキャンおよびステップ応答の最適化
  • 強く、信頼できる
  • 極度のアンバーの構築

アプリケーション

NPS-Z-15B の nanopositioning 段階はアプリケーションにのような適します:

  • スキャンのプローブの顕微鏡検査
  • NSOM
  • 原子力の顕微鏡検査
  • 精密工学
  • インターフェロメトリー
  • 度量衡学

Last Update: 19. April 2012 11:19

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