Piezo Gescannte Biegung Geführte Stufe mit Kapazitanz-Stellungsgebern - NPS-XY-100A von Queensgate-Instrumenten

Das NPS-XY-100A ist eine piezo gescannte Biegung geführte nanopositioning Stufe mit integrierten KapazitanzStellungsgebern. Es wird vom SuperInvar gemacht und ist zu Unternm Auflösung und Reproduzierbarkeit fähig.

Es ist zu Unternm Auflösung und Reproduzierbarkeit fähig. Finit-Element-Methode der Biegungslenkungsvorrichtungen hat parasitäre Drehbewegungen auf weniger als 25 Mikroeinheitswinkeln über der vollen 100-Mikron-Reichweite verringert.

Der SuperInvarbau (CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al an 23ppm K)-1 der NPS-XY-100A nanopositioning Anlage setzt thermischen Antrieb herab, der auf einer nmschuppe sehr wichtig ist. Die eindeutige isostatic Befestigungsanlage garantiert, dass Drücke von der Befestigungsanlage richtig entlastet werden und legt die Mitte der Stufe während der KoordinierungsBezugspunkt fest.

Merkmale

Die NPS-XY-100A nanopositioning Anlagenmerkmale:

  • > Arbeitsweg mit 100 Mikrometern in jedem Schwerpunkt mit Unternm Auflösung
  • < 0,005% Hysterese- und Linearitätsfehler
  • Erste Eigenfrequenz > 350 Hz
  • Hohe Bandweiten (> 50 Hz) und schnelle Antwortzeiten
  • In-situscannen- und Sprungantwortoptimierung
  • Gebrauch mit NPS-Z-15A oder NPS-Z-15H für XYZ-Optionen
  • SuperInvarbau

Anwendungen

Die NPS-XY-100A nanopositioning Anlage ist entsprochener Gebrauch in:

  • Hohe Präzisions-Mikroskopie
  • FLUGHANDBUCH, SPM, NSOM

Last Update: 18. April 2012 23:39

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