Escenario Conducido Flexión Explorado Piezoeléctrico con los Sensores de Posición de la Capacitancia - NPS-XY-100A de los Instrumentos de Queensgate

El NPS-XY-100A es un escenario nanopositioning conducido flexión explorado piezoeléctrico con los sensores de posición integrados de la capacitancia. Se hace del Invar Estupendo y es capaz de la resolución y de la reproductibilidad del sub-nanómetro.

Es capaz de la resolución y de la reproductibilidad del sub-nanómetro. El análisis de elemento Finito de los mecanismos de la dirección de la flexión ha reducido movimientos angulares parásitos a menos de 25 micro-radianes sobre el rango completo de 100 micrones.

La construcción Estupenda del Invar (CTE 0.3ppm K-1, c.f. El Al en 23ppm K)-1 del sistema nanopositioning de NPS-XY-100A disminuye la desviación térmica, que en una escala del nanómetro es muy importante. El sistema isostático único del montaje se asegura de que las tensiones del sistema del montaje estén relevadas correctamente y establece el centro del escenario mientras que la punta de referencia del coordinar.

Características

Las características de sistema nanopositioning de NPS-XY-100A:

  • > viaje de 100 micrómetros en cada eje con la resolución del sub-nanómetro
  • < 0,005% desvíos de la histéresis y de las linearidades
  • Primera frecuencia resonante > 350 Hertz
  • Altas anchuras de banda (> 50 Hertz) y tiempos de reacción rápidos
  • Optimización "in-situ" de la reacción de la exploración y de escalonamiento
  • Uso con NPS-Z-15A o NPS-Z-15H para las opciones de XYZ
  • Construcción Estupenda del Invar

Aplicaciones

El sistema nanopositioning de NPS-XY-100A es uso adecuado en:

  • Microscopia de la Alta Precisión
  • AFM, SPM, NSOM

Last Update: 18. April 2012 23:40

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