キャパシタンス位置センサー - Queensgate の器械からの NPS-XY-100A が付いている Piezo スキャンされたたわみによって導かれる段階

キャパシタンス位置センサー - Queensgate の器械からの NPS-XY-100A が付いている Piezo スキャンされたたわみによって導かれる段階

NPS-XY-100A は統合されたキャパシタンス位置センサーが付いている piezo スキャンされたたわみによって導かれる nanopositioning 段階です。 それは極度のアンバーから成り、副ナノメーターの解像度および再現性が可能です。

それは副ナノメーターの解像度および再現性が可能です。 たわみの指導メカニズムの有限な要素分析は完全な 100 ミクロンの範囲上の 25 マイクロラジアン以下に寄生角動きを減らしました。

極度のアンバーの構築 (CTE 0.3ppm K-1、 c.f。 NPS-XY-100A nanopositioning システム-1 23ppm K) の Al はナノメーターのスケールで非常に重要である熱ドリフトを最小化します。 一義的な地殻均衡土台システムは土台システムからの圧力がきちんと取り除かれる保障し、段階の中心をと同時に調整の基準点ことを確立します。

機能

NPS-XY-100A の nanopositioning システム特徴:

  • > 副ナノメーターの解像度の各軸線の 100 マイクロメートル旅行
  • < 0.005% ヒステリシスおよび直線性のエラー
  • 最初共振周波数 > 350 の Hz
  • 高い帯域幅 (> 50 の Hz) および速い応答時間
  • In-situ スキャンおよびステップ応答の最適化
  • XYZ オプションのための NPS-Z-15A または NPS-Z-15H の使用
  • 極度のアンバーの構築

アプリケーション

NPS-XY-100A nanopositioning システムは適された使用のです:

  • 高精度の顕微鏡検査
  • AFM、 SPM、 NSOM

Last Update: 18. April 2012 23:39

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