XPS 希腊字母的第八字伽玛2A 为要求高速确定在光学检验和想象系统的镜子的应用被开发了。 镜子是完全固定的在这个阶段的掀动的平台上提供 > 2 毫弧度旅行以子 microradian 解决方法。
功能
XPS 希腊字母的第八字伽玛2A 掀动技巧 nanopositioning 的系统的功能包括:
- 2 毫弧度开环范围
- 高稳定性和可靠性的围绕结构
- 高带宽
- 低成本/大容积应用的简单的弯曲设计
应用
XPS 希腊字母的第八字伽玛2A 掀动技巧 nanopositioning 的系统可以为这样应用使用如下: