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掀动技巧 Nanopositioning 系统 - 从 Queensgate 仪器的 XPS 希腊字母的第八字伽玛2A

XPS 希腊字母的第八字伽玛2A 为要求高速确定在光学检验和想象系统的镜子的应用被开发了。 镜子是完全固定的在这个阶段的掀动的平台上提供 > 2 毫弧度旅行以子 microradian 解决方法。


XPS 希腊字母的第八字伽玛2A 掀动技巧 nanopositioning 的系统的功能包括:

  • 2 毫弧度开环范围
  • 高稳定性和可靠性的围绕结构
  • 高带宽
  • 低成本/大容积应用的简单的弯曲设计


XPS 希腊字母的第八字伽玛2A 掀动技巧 nanopositioning 的系统可以为这样应用使用如下:

  • 精确度光束控制
  • 图象焦虑更正

Last Update: 19. April 2012 11:18

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