XPS 希臘字母的第八字伽瑪2A 為要求高速確定在光學檢驗和想像系統的鏡子的應用被開發了。 鏡子是完全固定的在這個階段的掀動的平臺上提供 > 2 毫弧度旅行以子 microradian 解決方法。
功能
XPS 希臘字母的第八字伽瑪2A 掀動技巧 nanopositioning 的系統的功能包括:
- 2 毫弧度開環範圍
- 高穩定性和可靠性的圍繞結構
- 高帶寬
- 低成本/大容積應用的簡單的彎曲設計
應用
XPS 希臘字母的第八字伽瑪2A 掀動技巧 nanopositioning 的系統可以為這樣應用使用如下: