आज, कार्ल Zeiss श्रीमती अपनी नव विकसित Auriga ™ क्रॉसबीम ® (FIB-SEM) काम स्टेशन की शुरुआत की. उपकरणों के इस वर्ग के विकास में अग्रदूतों में से एक के रूप में, और FIB-SEM अनुभव से अधिक 8 वर्षों के साथ, कंपनी के नए Auriga में नवाचारों की एक बड़ी संख्या शामिल है.
Auriga, नए अत्यंत लचीला कार्ल Zeiss से क्रॉसबीम वर्कस्टेशन संकल्प परे जानकारी बचाता है.
डॉ. थॉमस अल्ब्रेक्ट, निदेशक उत्पाद प्रबंधन, ने कहा: "एक नमूना के बारे में उपयोगी जानकारी अभी तक सिर्फ उच्च संकल्प सतह छवियों से परे चला जाता है हम इस शक्तिशाली नए उपकरण के विकास के दौरान दो प्रमुख कार्यों पर ध्यान केंद्रित: पहले, का विश्लेषण करना संभव है. नमूने के पहले कभी नहीं देखा किस्म है, और दूसरा, ग्राहकों को प्रत्येक नमूने से अधिकतम संभव जानकारी प्राप्त करने के लिए सक्षम Auriga - अधिक सिर्फ एक छवि से वितरित - इस खोज का परिणाम है ".
नई कक्ष डिजाइन और उन्नत विश्लेषिकी के लिए अद्वितीय प्रभारी मुआवजा प्रणाली
रासायनिक विश्लेषण, crystallographic जानकारी, पूरा आकारिकी, बिजली जानकारी ... और nanometer पैमाने पर एक व्यापक नमूना लक्षण वर्णन प्राप्त करने के लिए आवश्यक कार्यों की संख्या और जटिलता असीमित है, के रूप में और नमूनों की संख्या और विविधता है. इसलिए, लचीलापन है एक चाहिए. आदेश में इस आवश्यकता को पूरा करने के लिए, Auriga एक पूरी तरह से बदल दिया निर्वात चैम्बर, जो अब कुल 15 बंदरगाहों में से एक अलग डिटेक्टरों के लिए शामिल है. इसके अतिरिक्त, एक बेजोड़ प्रभारी मुआवजा प्रणाली एक आभ्यांतरिक गैस फ्लश के स्थानीय आवेदन सक्षम बनाता है. इस तरह, गैर प्रवाहकीय नमूने के electrostatic चार्ज निष्प्रभावी है और माध्यमिक इलेक्ट्रॉनों (एसई) के रूप में के रूप में अच्छी तरह से backscattered इलेक्ट्रॉनों (बीएसई) का पता लगाने के संभव हो जाता है. इसके अलावा EDS, EBSD, एस, और कई और अधिक इस तकनीक से विश्लेषणात्मक तरीकों का लाभ, सामग्री विश्लेषण, जीवन विज्ञान और प्रौद्योगिकी अर्धचालक में कई अनुप्रयोगों का समर्थन.
अद्वितीय इमेजिंग द्वारा नमूनों की सटीक प्रसंस्करण
Auriga क्रॉसबीम ® कार्य केंद्र के बहुत दिल साबित मिथुन ® FE-SEM स्तंभ है. इसका विशेष लेंस ESB डिटेक्टर उत्कृष्ट सामग्री विपरीत के साथ छवियों को प्रदान करता है. इसके अतिरिक्त, मिथुन स्तंभ के डिजाइन चुंबकीय नमूनों के विश्लेषण के लिए सक्षम बनाता है. एक कार्ल Zeiss से क्रॉसबीम workstations के लिए अद्वितीय सुविधा एक साथ मिलिंग और उच्च संकल्प SEM इमेजिंग है. इष्टतम ग्राहक सहायता सुनिश्चित करने के Auriga 2.5 एनएम के एक शीर्ष स्तर संकल्प और बेहतर के साथ एक नई उच्च संकल्प FIB शामिल हैं. आयन और ई - बीम की सहायता नक़्क़ाशी और बयान के लिए उन्नत गैस प्रसंस्करण प्रौद्योगिकी के इस नए उपकरण का अप्रतिम नमूना प्रसंस्करण क्षमताओं पूरा करता है.
भविष्य बीमित उन्नयन पथ
को बदलने या बढ़ती मांग लचीला अनुकूलन की आवश्यकता है कि पूरी तरह से Auriga के द्वारा समर्थित है. एक उच्च प्रदर्शन मंच FE-SEM प्रणाली बजटीय आवश्यकताओं या विश्लेषणात्मक जरूरतों के अनुसार उन्नत किया जा सकता है एक पूरी तरह सुसज्जित क्रॉसबीम वर्कस्टेशन सहित FIB स्तंभ, गैस इंजेक्शन प्रणाली, प्रभारी मुआवजा और डिटेक्टरों की एक व्यापक विविधता, बन के साथ शुरू. Auriga शुरू करने के लिए आज की आवश्यकताओं को पूरा करने, जबकि एक ही समय में, अग्रणी बढ़त प्रदर्शन के साथ भविष्य की जरूरतों को पूरा करने के लिए upgradeability के लिए अनुमति विन्यस्त किया जा सकता है.