Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Nagoya Institute of Technology Places Bestil for Black Magic II CVD Tool fra AIXTRON

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AIXTRON AG , en førende leverandør af deposition udstyr til halvlederindustrien, meddelte i dag, at Nagoya Institute of Technology i Nagoya, Japan, har bestilt en Black Magic II CVD værktøj.

Ordren for værktøjet blev modtaget i første kvartal af 2009 og vil blive leveret i en 2 tommer wafer konfiguration. Det blev afsendt i løbet af 1. kvartal, og systemet installationen vil være afsluttet ved lokale AIXTRON supportteam i universitetets anlægget i løbet af 2. kvartal.

The Black Magic II, en kombineret termisk CVD og plasma forbedret CVD værktøj, vil blive brugt til deponering af kulstof-nanorør (CNTs) til udvikling af teknologier til mikroelektroniske enheder som varme dræn, via interconnects for fremtidige LSIs, felt-effekt transistorer (FET), biologiske sensorer og andre nanoteknologi komponenter.

Lektor Yasuhiko Hayashi, Nagoya Institute of Technology udtaler: "I vores vurdering AIXTRON Black Magic II CNT systemet præcist matcher vores forskning mål. Udviklingsprogrammet for vores køleprofil, via interconnects, elektroniske komponenter og sensor anvendelser kræver materiel vækst, der er velkontrolleret lodret såvel som lateralt tilpasset, så der skabes CNTs i selektivt mønstrede områder med en høj vækstrate. Jeg er sikker på, at værktøjet vil være til stor gavn at hjælpe os frembringe nyttige strukturer hurtigt og effektivt. "

AIXTRON Black Magic II CVD (kemisk dampudfældning) værktøj beskæftiger hurtig opvarmning og plasma-teknologi, der er blevet bevist i området siden 2005. Med dette system, er kunderne i stand til at producere en række forskellige typer af nanorør, herunder lav temperatur, flerlags, single-væg og super-vækst nanorør. Værktøjet er designet til at være let at bruge for enten laboratorium eller produktionsanlæg

Last Update: 26. October 2011 09:38

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit