Instituto de Tecnología de Nagoya Orden Lugares de Negro herramienta Magic II ECV de AIXTRON

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AIXTRON AG , un proveedor líder de equipos de deposición de la industria de semiconductores, anunció hoy que el Instituto de Tecnología de Nagoya en Nagoya, Japón, ha ordenado a un Negro Magic II herramienta de ECV.

La orden de la herramienta fue recibido en el primer trimestre de 2009 y será entregado en una configuración de obleas 2 pulgadas. Que fue enviado durante la Q1 y la instalación del sistema será realizado por el equipo AIXTRON apoyo local en las instalaciones de la universidad durante el Q2.

El Negro Magic II, una combinación de las enfermedades cardiovasculares y el plasma térmico herramienta mejorada ECV, será utilizado para la deposición de los nanotubos de carbono (CNT) para el desarrollo de tecnologías para dispositivos microelectrónicos, tales como disipadores de calor, a través de las interconexiones de LSI futuro, transistores de efecto campo (FET), sensores biológicos y otros componentes de la nanotecnología basada en.

Prof. Asociado Yasuhiko Hayashi, Nagoya Instituto de Tecnología de los comentarios: "En nuestra evaluación de la AIXTRON Negro Magic II sistema de CNT coincide exactamente con nuestros objetivos de investigación. El programa de desarrollo para nuestro disipador de calor, a través de las interconexiones, los componentes electrónicos y aplicaciones de sensores requiere un crecimiento material que está bien controlada verticalmente, así como lateralmente alineados con el fin de crear nanotubos de carbono en las áreas de forma selectiva con dibujos en una alta tasa de crecimiento. Estoy seguro de que la herramienta será de gran beneficio para ayudarnos a producir estructuras útiles de forma rápida y eficiente. "

AIXTRON Negro Magic II CVD (Chemical Vapour Deposition) herramienta emplea un calentamiento rápido y las tecnologías de plasma que han sido probados en el campo desde el año 2005. Con este sistema, los clientes son capaces de producir una gama de diferentes tipos de nanotubos, incluyendo la temperatura baja de varias hojas, solo en la pared y los nanotubos de super-crecimiento. La herramienta ha sido diseñada para ser fácil de usar para cualquiera de las instalaciones de laboratorio o de producción

Last Update: 7. October 2011 07:41

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