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名古屋技术研究所发出订单不可思议 II 从 AIXTRON 的 CVD 工具

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AG,证言设备主导的提供者 AIXTRON 对半导体行业的,今天宣布该名古屋技术研究所在名古屋,日本,定购了一个不可思议 II CVD 工具。

工具的订单在第一季度在一种 2 英寸薄酥饼配置收到了 2009年和被提供。 它被发运了在 Q1 期间在 Q2 期间,并且系统安装将由在大学的设备的局部 AIXTRON 流动代课教师组完成。

不可思议 II,联合的热量 CVD 和等离子改进的 CVD 工具,为碳 nanotubes 的证言 (CNTs)技术的发展的将使用微电子学设备的例如吸热器,通过为将来的 LSIs、场效应晶体管、 (FETs)生物传感器和其他纳米技术基于要素互联。

关联 Yasuhiko Hayashi,名古屋技术研究所教授备注: “在我们的鉴定 AIXTRON 不可思议 II CNT 系统正确地符合我们的研究目标。 我们的吸热器的发展方案,通过互联,电子元件,并且传感器应用要求在选择性地被仿造的区垂直很好被控制以及侧向地对齐以便创建 CNTs 以一种高效成长费率的物质增长。 我肯定工具帮助我们的将是极大福利导致有用的结构迅速和高效”。

AIXTRON 的不可思议 II CVD (化学气相沉积) 工具使用在域证明自 2005年以来的迅速热化和等离子技术。 此系统,客户能导致 nanotubes 的不同的类型的范围,包括低温、 multiwall、单一墙壁和超增长 nanotubes。 工具被设计是易用的为实验室或生产设施

Last Update: 13. January 2012 21:28

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