AIXTRON的MOCVD工具接收来自弗劳恩霍夫研究所的订单

Published on June 23, 2009 at 3:26 AM

AIXTRON AG公司今天宣布,在2008年第四季度,德国弗劳恩霍夫太阳能系统研究所(ISE),弗赖堡下令自动化晶圆处理程序的AIX 2800G4 - R的金属有机化学气相沉积工具。 8x6英寸配置的行星反应堆系统将在2009年第四季度交付。

BMBF的弗劳恩霍夫协会的资助,新的工具将形成一个计划,开发和生产下一代三重和多结太阳能电池与工业合作伙伴的合作的核心。

弗兰克博士,Dimroth的III - V族磊晶与太阳能电池组的Fraunhofer ISE注释头:“我们选择,因为其高度的灵活性和可重复性是与行星式反应器技术取得AIXTRON MOCVD系统。此外,我们还可以采用系统的全过程窗口,对于调整我们的新的工艺技术,基于化合物半导体的合金材料。 AIX 2800G4 - R将采用先进的原位监测技术,我们将能够改变晶圆配置灵活高达8.5英寸。我留下了深刻的印象比我们当前的AIX 2600G3系统已在反应堆设计的改进。 AIXTRON的新的技术使我们能够转移我们的R&D过程,大批量大规模生产,这是一个为我们的发展项目的主要目标。“

弗劳恩霍夫太阳能系统研究所(ISE)进行有效和无害环境的基础上,在工业化,门槛国家和发展中国家的能源供应所需的技术研究。为此,它开发的太阳能,太阳能建筑,太阳能电池,电力供应,化学能源转换,能源储存和能源的合理利用的热利用领域的系统,部件,材料和工艺。研究所的工作范围从基本的科学与太阳能应用的研究,通过对生产技术和原型的发展,示范系统的建设。该研究所的计划,建议和技术诀窍和技术设施作为服务提供。

Last Update: 7. October 2011 13:50

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