Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Linde Εγκαθιστά Πρώτη σήμανση CE της Ευρώπης On-Site Generator Φθόριο στο STMicroelectronics

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

Πρωτοποριακή έρευνα για τις προσπάθειες της ευρωπαϊκής βιομηχανίας ηλεκτρονικών ειδών για τη βιώσιμη παραγωγή των ημιαγωγών, Linde Αέρια, ένα τμήμα της Η Linde Group , έχει εγκαταστήσει πρώτα με σήμανση CE στο χώρο ηλεκτρονικής Ευρώπης βαθμού φθόριο (F2) γεννήτρια σε Crolles STMicroelectronics «300 χιλιοστά εργοστάσιο κατασκευής πλακιδίων στη Γαλλία. Στο πλαίσιο της πρωτοβουλίας STMicroelectronics »για τη μείωση των περιβαλλοντικών επιπτώσεων από την παραγωγή ημιαγωγών, υψηλής πίεσης κυλίνδρου F2 έχει αντικατασταθεί από δύο νέα Linde Generation-F στο χώρο γεννήτριες φθορίου - παρέχοντας ένα χαμηλής πίεσης, πλήρως περιττή παροχή υψηλής καθαρότητας F2 και την εξάλειψη την ανάγκη μεταφοράς και να κρατήσει κυλίνδρους στο χώρο του ξενοδοχείου.

Η Linde γεννήτριες φθόριο και βοηθητικό εξοπλισμό συνδυάζει δοκιμασμένη τεχνολογία με εγγενώς ασφαλούς σχεδιασμού για την παροχή STMicroelectronics ένα on-demand, ασφαλούς και ιδιαίτερα αξιόπιστη πηγή καθαρού F2 για εναπόθεση ατμού με χημικές μεθόδους (CVD) καθαρισμός του θαλάμου. Ένας κύλινδρος από υδροφθόριο (που χρησιμοποιείται ως πρώτη ύλη για την γεννήτρια επί τόπου) προσφέρει το ίδιο ποσό της F2 στο Fab ως 100 υψηλής πίεσης φιάλες F2 - σημαντική μείωση του φόρτου εργασίας συντήρησης, ενώ η πολύ χαμηλή πίεση του συστήματος παρέχει πολύ μεγαλύτερη ασφάλεια για τους όλα STMicroelectronics μηχανικούς.

"Καθώς οι φορείς της θερμικής κλιβάνων CVD ματιά για τη βελτιστοποίηση του κόστους και την ελαχιστοποίηση του κινδύνου μέσω αυστηρότερων απαιτήσεων ασφάλειας, η Linde είναι να δει μια πιο γρήγορο ρυθμό από την έγκριση για την επί τόπου φθόριο που δημιουργούνται», δήλωσε ο Greg Shuttleworth, Semiconductor Product Manager για Division Linde Αέρια. «Βλέπουμε επίσης αυξανόμενο ενδιαφέρον για τη χρήση F2 ως εναλλακτική λύση για NF3 για τον καθαρισμό των Plasma Enhanced-CVD θαλάμους, λόγω ανησυχιών για το πολύ υψηλό δυναμικό πλανητικής υπερθέρμανσης του NF3 και την επικείμενη νομοθεσία η οποία θα μπορούσε να περιορίσει τη χρήση του."

"Η εγκατάσταση του πρώτου στο χώρο γεννήτριες φθόριο της Ευρώπης σε Crolles εργοστάσιο κατασκευής πλακιδίων μας είναι απόδειξη της δέσμευσης STMicroelectronics« να αυξηθεί η ασφάλεια και η βελτίωση μας οικολογικό αποτύπωμα », δήλωσε ο David Ferrand, Διευθυντής της εγκαταστάσεις στο Crolles 200 και Crolles 300 FABS. «Έχουμε μειώσει άμεσα το ενεργειακό μας αποτύπωμα σε Crolles 300 χιλιοστά με την εξάλειψη των κυλίνδρων παραδόσεις. Είμαστε ενθουσιασμένοι από τις δυνατότητες για ακόμη μεγαλύτερη περιβαλλοντική αποδοτικότητα με τη χρήση της δυναμικότητας παραγωγής σε άλλες εφαρμογές καθαρισμού."

Προηγουμένως, κάθε κύλινδρος αλλαγή ήταν μια ευκαιρία για την μόλυνση του συστήματος, αλλά τώρα η STMicroelectronics Crolles 300 χιλιοστά εγκατάσταση έχει πολύ μεγαλύτερη αξιοπιστία από τα εξαρτήματα στο κουτί του φυσικού αερίου με την εξάλειψη αυτών των συχνών αλλαγών. Υπάρχει επίσης λιγότερο επικίνδυνα απόβλητα, καθώς δεν υπάρχει ανάγκη για να καθαριστεί κυλίνδρους για να εξασφαλιστεί ότι είναι εντελώς άδειο πριν από την αλλαγή, την αύξηση της αποταμίευσης και τη μείωση του φορτίου σχετικά με τα συστήματα περιορισμού STMicroelectronics ».

Η Linde Generation-F στο χώρο γεννήτρια φθόριο έχει μέσα από εκτενή τρίτους την αξιολόγηση της ασφάλειας και τώρα να προσθέσετε το σήμα CE για την SEMI S2 πιστοποιητικό ανάμεσα κατάλογο των εθνικών και της βιομηχανίας αναγνωρισμένα πρότυπα ασφαλείας. Εκτός από τις γεννήτριες οι ίδιοι, βοηθητικές ανάσχεσης της Linde και συστήματα μείωσης, οι οποίες παρέχουν ασφάλεια ποικίλες ποσότητες φθορίου, έχουν επίσης φέρει σήμανση CE και SEMI S2 πιστοποιηθεί. Συμπεριλαμβανομένων και εκείνων σε STMicroelectronics, η Linde έχει προμηθεύσει και λειτουργεί σχεδόν 30 Generation-F συστήματα ανά τον κόσμο για την κάλυψη των ημιαγωγών, οθόνη και θάλαμος φωτοβολταϊκά βιομηχανίες »χρειάζεται καθάρισμα.

Προγράμματα STMicroelectronics «να μειωθεί η χρήση ενέργειας, νερού και χημικών ουσιών σε όλα τα σημεία είναι τα θεμέλια μιας μακροχρόνιας προσέγγισης της οικο-αποδοτικότητας για την περιβαλλοντική διαχείριση. STMicroelectronics θεωρεί ότι η διαχείριση των χημικών ουσιών που χρησιμοποιεί, σε συνδυασμό με την αλλαγή του κλίματος, ως τα πιο σημαντικά περιβαλλοντικά ζητήματα, και έχει τη μείωση της κατανάλωσης χημικών κατά περισσότερο από πέντε τοις εκατό το χρόνο, κατά μέσο όρο, από το 1998.

Last Update: 3. October 2011 01:10

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit