Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Linde Asentaa Euroopan ensimmäinen CE-merkitty-Site Fluori generaattorin STMicroelectronicsin

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

Edelläkävijä Euroopan elektroniikkateollisuutta pyrkimyksiä kestävään valmistukseen puolijohteita, Linde Kaasut, jako Linde Group on asennettu Euroopan ensimmäinen CE-merkintä on-site elektroniikka grade fluorin (F2) generaattorin STMicroelectronicsin Crolles 300mm kiekkojen valmistus tehtaalla Ranskassa. Osana STMicroelectronicsin aloite alentaa ympäristövaikutuksia tuottavien puolijohteiden, korkea paine sylinteriin F2 on korvattu kahdella uudella Linde Generation-F-site fluori generaattorit - tarjoamalla matalapaine, täysin tarpeeton tarjonta erittäin puhdasta F2 ja poistamalla tarvetta kuljettaa ja säilyttää sylinterit päällä.

Linde fluori generaattorit ja lisälaitteiden yhdistää koeteltua tekniikkaa luonnostaan ​​vaarattomien muotoilu antaa STMicroelectronics on-demand, turvallinen ja erittäin luotettava lähde puhtaan F2 varten Kemiallinen kaasufaasipinnoitus (CVD) kammio puhdistus. Yksi sylinteri fluorivetyä (käytetty lähdemateriaalina paikan päällä generaattori) tarjoaa saman verran F2 Fab kuin 100 korkeapaine F2 sylinterit - vähentää merkittävästi huolto työmääräänsä ja hyvin alhainen järjestelmän paine tarjoaa paljon enemmän turvallisuutta kaikki STMicroelectronics insinöörit.

"Kun operaattorit lämpö CVD-uunit näyttää optimoida kustannukset ja minimoimaan riskit läpi tiukemmat turvallisuusvaatimukset, Linde on nähdä nopeampaa tahtia adoption paikan päällä syntyy fluori", sanoo Greg Shuttleworth, Semiconductorin tuotepäällikkönä Linde Kaasut Division. "Olemme myös nähdä lisää kiinnostusta käyttää F2 vaihtoehtona NF3 puhdistukseen Plasma-Enhanced CVD kammiot johtuen huoli erittäin suuri lämmitysvaikutus on NF3 ja välitön lainsäädäntöä, joka voisi rajoittaa sen käyttöä."

"Asennus Euroopan ensimmäisen paikan päällä fluori generaattoreita meidän Crolles kiekkojen valmistuslaitoksia on osoitus STMicroelectronicsin sitoutumista parantaa turvallisuutta ja parantaa meidän ekologisen jalanjäljen", sanoi David Ferrand johtaja Tilat Crolles 200 ja Crolles 300 lohkojen. "Meillä on suoraan vähennetty hiilijalanjälkeämme klo Crolles 300mm poistamalla sylinterin toimituksia. Olemme innoissamme mahdollisuuksia entisestään ympäristötehokkuutta käyttämällä tuotantokapasiteetin muissa puhdistustehtäviin."

Aiemmin jokainen sylinteri muutos oli tilaisuus saastuminen järjestelmää, mutta nyt STMicroelectronics Crolles 300mm laitos on paljon suurempi luotettavuus kaasu laatikko komponenttien Vähentämällä usein muutoksia. Myös vähemmän vaaralliset jätteet ei tarvitse puhdistaa sylinteriä jotta ne ovat täysin tyhjiä ennen muuttumassa yhä säästöjä ja vähentää kuormitusta STMicroelectronicsin vähentämiseen järjestelmiä.

Linde Generation-F-site fluori generaattori on käynyt läpi laajan kolmannen osapuolen turvallisuusarviointeihin ja voi nyt lisätä CE-merkintää SEMI S2 todistus keskuudestaan ​​luettelon kansallisista ja teollisuuden turvallisuusnormeja. Lisäksi generaattorit itse, Linden liitännäisiä puskuri ja vähentämisen järjestelmiä, jotka turvallisesti toimittaa vaihtelevia määriä fluoria, on myös CE-merkittyjä ja SEMI S2-sertifioitu. Lukien klo STMicroelectronics, Linde on toimittanut ja toimii lähes 30 Generation-F järjestelmiä maailmanlaajuisesti vastaamaan puolijohde, näyttö-ja aurinkosähkö teollisuuden jaosto siivouksen tarvetta.

STMicroelectronicsin ohjelmat vähentää energian, veden ja kemikaalien kaikki sivustot ovat perusta sen pitkäaikaisesta ekotehokkuuden lähestymistapa ympäristön hoitoon. STMicroelectronics katsoo hallinnan kemikaalit se käyttää yhdessä ilmastonmuutosta, koska tärkeimmistä ympäristökysymyksistä, ja on ollut vähentää kemikaalien kulutus yli viisi prosenttia vuodessa, keskimäärin vuodesta 1998.

Last Update: 6. October 2011 11:01

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit