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リンデは、STマイクロエレクト​​ロニクスにおけるヨーロッパ初のCE -マークオンサイトフッ素発生器をインストール

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

半導体の持続可能な製造のための欧州のエレクトロニクス産業の努力、リンデガス、の一部門開拓リンデグループと 、フランスにおけるSTのクロル300mmウェハ製造工場でヨーロッパ初のCE -マークのオンサイト電子グレードフッ素(F2)発生器を設置しています。高純度のF2の低圧、完全な冗長電源を提供し、排除 - 半導体の生産の環境負荷を低減するSTマイクロエレクト​​ロニクス社のイニシアチブの一環として、高圧シリンダーF2はフッ素ジェネレータ - サイトの上の2つの新たなリンデジェネレーション - Fに置き換えられていますに運搬し、現場でシリンダーを保持する必要があります。

リンデフッ素発生器と補助機器は、STマイクロエレクト​​ロニクスの化学蒸着(CVD)チャンバークリーニング用の純粋なF2のオンデマンド、安全で信頼性の高いソースを提供するために、本質安全設計で実績のある技術を組み合わせる。フッ化水素のいずれかのシリンダーは、(オンサイト発電の原料として使用される)100高圧F2シリンダーとして工場にF2の同量を提供 - 大幅にメンテナンス作業の軽減、非常に低いシステム圧力がはるかに高い安全性を提供する一方、すべてのSTマイクロエレクト​​ロニクスエンジニア。

"熱CVD炉のオペレーターは、コストを最適化し、より厳格な安全要件を通じて、リスクを最小限に抑えるために見渡すと、リンデは、オンサイト生成されるフッ素のために採用の速いペースを見ている、"グレッグShuttleworth氏、リンデガス事業部の半導体製品のマネージャーは言った。 "我々はまた、NF3の非常に高い地球温暖化係数とその使用を制限する可能性が差し迫って法律上の懸念に起因するプラズマCVDチャンバーのクリーニングのためのNF3の代替としてF2を使用しての関心の高まりを見ている。"

"私達のクロルのウェハ製造工場でヨーロッパ初のオンサイトフッ素発生器の設置は安全性を高め、私たちのエコフットプリントを改善するためのSTのコミットメントの証である、"デビッドフェラン、クロル200クロル300工場での設備のディレクター言った。 "我々は、直接シリンダー納品を排除することによって300ミリメートルクロルで二酸化炭素排出量を減らしてきた。我々は、他の洗浄用途での発電容量を使用して、さらなる環境効率の可能性によって励起されています。"

以前は、すべてのシリンダーの変更は、システムの汚染の機会だったが、現在はSTマイクロエレクト​​ロニクスクロル300ミリメートル施設は、これらの頻繁な変更を排除することによって、ガスボックスコンポーネントのはるかに大きな信頼性を持っています。彼らは貯蓄を増やし、STの除害装置の負荷を軽減、変更する前に完全に空であることを確認するためにシリンダーをパージする必要がないとして、有害性の低い廃棄物もあります。

フッ素発生現場でリンデジェネレーション- Fは、豊富なサードパーティの安全性評価を通じてされており、現在、国と業界の認識、安全基準のリストの中でSEMI S2証明するCEマークを追加することができます。発電機そのものに加えて、リンデの補助バッファと安全にフッ素の変数量を提供する除害装置には、、またCEマークおよびSEMI S2認定されている。 STマイクロエレクト​​ロニクスにおけるものも含めて、リンデは、供給され、約30世代 - F半導体、ディスプレイおよび太陽光発電産業のチャンバークリーニングのニーズを満たすために世界的なシステムを運用しています。

すべてのサイトでのエネルギー、水、化学物質の使用を減らすためにSTのプログラムは、環境管理への長年にわたるエコ効率アプローチの基盤です。 STマイクロエレクト​​ロニクスは、最も重要な環境問題として、気候変動とともに、それが使用する化学物質の管理を考慮し、1998年以降、平均で、前年より5%の化学量を削減している。

Last Update: 7. October 2011 17:06

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