Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Linde Installeert Generator Ter plaatse van het Fluor van Europa de Eerste Ce-CE-Marked in STMicroelectronics

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

De Weg Bereidend de inspanningen van de Europese elektronische industrie voor duurzame productie van halfgeleiders, Linde heeft de Gassen, een afdeling van de Linde Groep, van de de elektronikarang van Europa eerste Ce-CE-marked het fluorgenerator ter plaatse (F2) in Crolles 300mm van STMicroelectronics de installatie van de wafeltjevervaardiging in Frankrijk geïnstalleerd. Als deel van het initiatief van STMicroelectronics om het milieueffect te verminderen van het produceren van halfgeleiders, is de hoge drukcilinder F2 door twee nieuwe Linde generatie-F fluorgenerators vervangen die ter plaatse - een lage druk, volledig overtollige levering verstrekken van hoge zuiverheid F2 en de behoefte elimineren om te vervoeren aan en cilinders op plaats te houden.

De Linde fluorgenerators en de assistentapparatuur combineren bewezen technologie met intrinsiek veilig ontwerp om STMicroelectronics op bestelling, veilig en hoogst betrouwbare bron van zuiver F2 voor de kamer van het Deposito van de Chemische Damp (CVD) te verstrekken het schoonmaken. Één cilinder van waterstoffluoride (dat als bronmateriaal voor de generator wordt gebruikt ter plaatse) verstrekt de zelfde hoeveelheid F2 aan fab zoals 100 hoge drukF2 cilinders - beduidend verminderend onderhoudswerkbelasting, terwijl de zeer lage systeemdruk veel grotere veiligheid voor alle ingenieurs van STMicroelectronics verstrekt.

„Aangezien de exploitanten van de thermische ovens van CVD kijken om kosten te optimaliseren en risico te minimaliseren door striktere veiligheidsvoorschriften, ziet Linde een sneller tempo van goedkeuring voor geproduceerd fluor ter plaatse,“ bovengenoemde Greg Shuttleworth, de Manager van het Product van de Halfgeleider voor Linde de Afdeling van Gassen. „Wij zien ook stijgende rente in het gebruiken van F2 als alternatief aan NF3 voor het schoonmaken van de plasma-Verbeterde kamers van CVD toe te schrijven aan zorgen over het zeer hoge globale het verwarmen potentieel van NF3 en de dreigende wetgeving dat zijn gebruik kon beperken.“

De „installatie van eerste het fluorgenerators ter plaatse van Europa bij onze Crolles installatie van de wafeltjevervaardiging is testament aan de verplichting van STMicroelectronics aan stijgende veiligheid en het verbeteren van onze eco-voetafdruk,“ bovengenoemd David Ferrand, Directeur van Faciliteiten in Crolles 200 en Crolles 300 fabs. „Wij hebben direct onze koolstofvoetafdruk in Crolles 300mm door cilinderleveringen te elimineren verminderd. Wij worden opgewekt door het potentieel voor nog grotere milieuefficiency door de generatiecapaciteit in andere het schoonmaken toepassingen te gebruiken.“

Eerder, was elke cilinderverandering een kans voor verontreiniging van het systeem, maar heeft STMicroelectronics Crolles 300mm faciliteit nu veel grotere betrouwbaarheid van de componenten van de gasdoos door deze frequente veranderingen te elimineren. Er is ook minder gevaarlijk afval aangezien er geen behoefte is om cilinders te zuiveren om te verzekeren zij alvorens te veranderen, stijgende besparingen en het verminderen van de lading op de verminderingssystemen van STMicroelectronics volledig leeg zijn.

De Linde generatie-F fluorgenerator is ter plaatse door de uitgebreide evaluaties van de derdeveiligheid geweest en het Teken van CE aan het SEMI S2 certificaat onder zijn lijst van nationale en de industrie erkende veiligheidsnorm kunnen nu toevoegen. Naast de generators zelf, Linde van de assistentbuffer en vermindering zijn de systemen, die veilig veranderlijke hoeveelheden fluor leveren, ook Ce-CE-marked en SEMI S2 verklaard geweest. Met Inbegrip Van die in STMicroelectronics, heeft Linde bijna 30 systemen generatie-F wereldwijd en in werking gesteld geleverd om aan de halfgeleider, vertonings en de kamer het schoonmaken van photovoltaic industrieën behoeften te voldoen.

De programma's van STMicroelectronics om het gebruik van energie, water en chemische producten bij alle plaatsen te verminderen zijn de stichting van zijn al lang bestaande eco-efficiency benadering van milieustewardship. STMicroelectronics overweegt het beheer van de chemische producten het gebruikt, samen met klimaatverandering, als belangrijkste milieukwesties, en chemische consumptie door meer dan vijf percenten per jaar, gemiddeld, sinds 1998 verminderd.

Last Update: 14. January 2012 02:51

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit