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Linde Instala Gerador No Local CE-Marcado do Flúor de Europa o Primeiro em STMicroelectronics

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

Abrindo Caminho os esforços da indústria electrónica Européia para a fabricação sustentável dos semicondutores, os Gáss de Linde, uma divisão Do Grupo de Linde, instalaram gerador no local CE-marcado do flúor da categoria da eletrônica de Europa (F2) o primeiro na planta de fabricação da bolacha do Crolles 300mm de STMicroelectronics em França. Como parte da iniciativa de STMicroelectronics para abaixar o impacto ambiental de produzir semicondutores, o cilindro de alta pressão F2 foi substituído por dois geradores no local do flúor da Geração-f nova de Linde - fornecendo uma baixa pressão, fonte inteiramente redundante da pureza alta F2 e eliminação da necessidade de transportar a e manter os cilindros no local.

Os geradores do flúor de Linde e o equipamento auxiliar combinam a tecnologia provada com o projecto intrìnseca seguro para fornecer STMicroelectronics uma fonte por encomenda, segura e altamente confiável do F2 puro para a limpeza da câmara do Depósito (CVD) de Vapor Químico. Um cilindro do fluoreto de hidrogênio (usado como o material de origem para o gerador no local) fornece a mesma quantidade do F2 ao fabuloso como 100 cilindros F2 de alta pressão - significativamente reduzindo a carga de trabalho da manutenção, quando a pressão de sistema muito baixa fornecer a segurança muito maior para todos os coordenadores de STMicroelectronics.

“Enquanto os operadores de fornalhas térmicas do CVD olham para aperfeiçoar custos e minimizar o risco com umas exigências de segurança mais restritas, Linde está vendo um ritmo mais rápido da adopção para o flúor gerado no local,” disse Greg Shuttleworth, Director de Produto do Semicondutor para a Divisão dos Gáss de Linde. “Nós igualmente estamos vendo o interesse crescente em usar o F2 como uma alternativa a NF3 para a limpeza das câmaras do CVD Plasma-Aumentar devido aos interesses sobre o potencial muito alto do aquecimento global de NF3 e da legislação iminente que poderiam restringir seu uso.”

“A instalação geradores no local do flúor de Europa de primeiros em nossa planta de fabricação da bolacha de Crolles é testamento ao comprometimento de STMicroelectronics à segurança crescente e melhorando nossa eco-pegada,” disse David Ferrand, Director das Facilidades no Crolles 200 e em Crolles 300 fabs. “Nós temos reduzido directamente nossa pegada do carbono em Crolles 300mm eliminando entregas do cilindro. Nós somos entusiasmado pelo potencial para mesmo a maior eficiência ambiental usando a capacidade de geração em outras aplicações da limpeza.”

Previamente, cada mudança do cilindro era uma oportunidade para a contaminação do sistema, mas agora a facilidade de STMicroelectronics Crolles 300mm tem a confiança muito maior de componentes da caixa do gás eliminando estas mudanças freqüentes. Há igualmente menos resíduos perigosos porque não há nenhuma necessidade de remover os cilindros para se assegurar de que estejam completamente vazios antes das economias em mudança, crescentes e de reduzir a carga em sistemas da redução de STMicroelectronics.

O gerador no local do flúor da Geração-f de Linde foi com as avaliações da terceira extensivas da segurança e pode agora adicionar o CE Mark SEMI ao certificado S2 entre sua lista de nacional e de standard de segurança reconhecidos indústria. Além do que os geradores eles mesmos, o amortecedor subordinado de Linde e os sistemas da redução, que entregam com segurança quantidades variáveis de flúor, igualmente foram CE-marcados e SEMI S2 certificados. Incluindo aqueles em STMicroelectronics, Linde forneceu e opera quase 30 sistemas da Geração-f no mundo inteiro para encontrar o semicondutor, indicador e a limpeza fotovoltaico da câmara das indústrias precisa.

Os programas de STMicroelectronics para reduzir o uso da energia, da água e dos produtos químicos em todos os locais são a fundação de sua aproximação de longa data da eco-eficiência à supervisão ambiental. STMicroelectronics considera a gestão dos produtos químicos que se usa, junto com alterações climáticas, como as questões meio-ambientais as mais importantes, e tem reduzido o consumo químico por mais de cinco por cento um o ano, em média, desde 1998.

Last Update: 13. January 2012 23:14

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