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A Colaboração Demonstrará Materiais Novos de EUV em Resiste Materiais e Centro de Revelação na Albany NanoTech de CNSE

Published on August 31, 2009 at 8:13 AM

SEMATECH, um consórcio global de fabricantes de chips, e o Produto Químico Co. de Shin-Etsu, Ltd., um dos fornecedores os maiores do mundo de materiais do semicondutor, que Shin-Etsu se juntou SEMATECH hoje anunciados Resistem Materiais e Centro de Revelação (RMDC) na Faculdade da Ciência de Nanoscale e do Complexo da Albany NanoTech da Engenharia (CNSE).

Porque um membro do programa da litografia de SEMATECH, Shin-Etsu da Oposição team com os pesquisadores em SEMATECH para desenvolver e demonstrar fotoresistente avançado de EUV para o uso no nó de 22 nanômetro e além.

“Partnering com resista fornecedores tais como Shin-Etsu acelerará nosso progresso em abordar os desafios chaves - tais como a definição, a aspereza da linha-largura, e o colapso do teste padrão - na área crítica de imagem lactente avançada,” disse o Arroz de Bryan, director da Litografia em SEMATECH. “Nós somos satisfeitos dar boas-vindas a Shin-Etsu ao RMDC de SEMATECH, onde partner com dúzias dos pesquisadores que representam universidades e as empresas de todo o mundo unidas no avanço resistem a revelação de processo.”

“A investigação e desenvolvimento pioneiro que é necessária para a comercialização da tecnologia de EUVL será aumentada mais pela adição de Shin-Etsu,” disse Richard Brilla, Vice-presidente de CNSE para a Estratégia, as Alianças e os Consórcios. “Esta parceria nova construirá nas capacidades da mundo-classe no UAlbany NanoCollege a favor das necessidades da tecnologia avançada de nossos sócios corporativos globais e da indústria do nanoelectronics.”

A colaboração será baseada na rede extensiva de SEMATECH do hardware e a experiência da pesquisa, a experiência do semicondutor, e liderança altamente respeitado do mercado e em Shin-Etsu's provados, materiais líder de mercado da especialidade do semicondutor. O RMDC de SEMATECH fornecerá o acesso a duas ferramentas da micro-exposição (METs) situadas na Universidade na Faculdade de Albany da Ciência e da Engenharia de Nanoscale e na Universidade Da California em Berkeley, assim como as diversas ferramentas da metrologia.

Por diversos anos SEMATECH manteve uma capacidade da exposição da mundo-classe para a revelação dos materiais. O RMDC reune a condução resiste e os fornecedores dos materiais e uma grande carteira de resistem o emprego dos projectos de investigação académico e os pesquisadores da indústria de todo o mundo. Junto, o RMDC fornece o hardware e a experiência da pesquisa para desenvolver EUV resiste os processos que encontram a definição, a aspereza da linha-largura, e as especificações estritas da sensibilidade necessários para o progresso continuado na fabricação.

Last Update: 13. January 2012 17:41

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