Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

كارل زايس تطرح الجيل التالي AIMS قناع نظام تأهيل

Published on September 14, 2009 at 3:33 AM

في مؤتمر التكنولوجيا الضوئية الرئيسية في مونتيري 2009 / CA كارل زايس يدخل الجيل القادم من أهدافها السفعي ™ قناع نظام التأهيل. AIMS ™ 32 - 193i يحاكي تصوير (Photomask) الزجاجية بأحدث الماسحات 193nm الغمر للعقدة 32nm وخارجها. ومن المقرر تسليم أول زبون الرائدة لشهر سبتمبر 2009.

السفعي نظام تأهيل قناع AIMS 32 - 193i.

وقد تم قياس صورة جوية من كارل زايس التكنولوجيا المتقدمة إلى حد كبير في تمكين مضاهاة دقيقة من تقنيات الطباعة الحجرية 32nm مثل نقرا زخرفة التكنولوجيا ، مصدر الأمثل قناع والطباعة الحجرية الحاسوبية.

قناع التصاميم المعقدة مع تشديد مواصفات القرص نتيجة في تحديات جديدة للتأهيل الضوئية الرئيسية فيما يتعلق التكرارية وجودة الصورة. أهداف ™ وقد 32 - 193i مصممة خصيصا للقرص مواصفات أدناه 0.25nm التكرار في مستوى مكافئ لرقاقة 1.00nm على المستوى القناع. "بناء على خبرة واسعة من كارل زايس عدسة مع تقنيات الماسح الضوئي قدمنا ​​يتو جديدة ™ البصريات في الصف 32 - AIMS ™ 193i ضمان الأداء الماسح الضوئي مثل التصوير" ، قال الدكتور أوليفر كينزلي ، المدير التنفيذي لقسم كارل زايس أشباه الموصلات نظم المقاييس. "ويشمل النظام الآن التداخل التكنولوجيا المسرح لمزيد من الدقة في تحديد المواقع قناع".

نظام الإضاءة المتقدمة يسمح للمضاهاة جميع أنواع إعدادات الإضاءة 193nm. للمرة الأولى في التاريخ AIMS ™ انتقال المتغير في الإضاءة تلميذ يتوفر الآن مع أهداف ™ 32 - 193i. بينما AIMS ™ السابقة كانت محدودة الأجيال إلى توزيع كثافة ثنائي الفتحة سيجما الهندسية وصف يمكن الآن أن تحدد خطة إنارة مع كثافة اللون الرمادي النطاق متفاوتة كما في الماسحات الضوئية المتطورة. ويمكن تعديل هذه المخططات إنارة بمرونة لتوزيع كثافة مختلفة داخل التلميذ.

وبالتالي ، فإن الإدارة المتكاملة ™ 32 دقيقة تمكن 193i التصرف عيب قناع الإصلاح والتأهيل لهذه المراكز 32nm ، ويضمن إدخال تكنولوجيات الطباعة الحجرية القادمة مثل الزخرفة مزدوجة ، الطباعة الحجرية الحاسوبية (العكسية التكنولوجيا يثو) ومصدر الأمثل قناع (SMO).

Last Update: 3. October 2011 21:16

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit