Applied Materials utökar AKT-Pivot 55KV PVD systemet till att omfatta Advanced Processing Koppar deposition

Published on October 27, 2009 at 8:57 PM

Applied Materials, Inc. meddelade idag att man har utökat sitt genombrott AKT-Pivot ™ 55KV PVD * systemet till att omfatta avancerad bearbetning koppar deposition för tillverkning av TFT-LCD * plattskärmar (FPD). Med hjälp av Pivot systemet kan FPD tillverkare övergången från aluminium till kopparaccesser buss för att nå snabbare pixel respons och lägre strömförbrukning i nästa generations LCD-TV paneler. Den Pivot Systemet ger riktmärke, kostnadseffektiva prestanda koppar nedfall genom att kombinera höga nedfall, effektivt rikta utnyttjande och långa serviceintervaller med förbättrad film morfologi.

Applied Materials utökar funktionerna i sitt genombrott AKT-Pivot PVD-systemet till att omfatta avancerad bearbetning koppar nedfall. (Foto: Business Wire)

Nyckel till Pivot systemets överlägsna film kvalitet är den egenutvecklade roterande katod design som använder unik teknik nedfall modulering att sätta in koppar lager med jämn säd distribution, låg resistivitet och hög tjocklek enhetlighet. Den Pivot Systemet möjliggör också större än 80 utnyttjandet%-målet att ge betydande besparingar i dyra mål material.

"Genom att ge oöverträffad filmföretag och effektiv råvara utnyttjande, besvarar våra AKT-Pivot systemet kritiska behoven hos dagens LCD-TV-marknaden som drivs av efterfrågan på större och ultra-högupplösnings-paneler och kräver innovationer inom nedfall teknik för att leverera hög kvalitet filmer till en låg kostnad för ägande ", sade dr Mark Pinto, senior vice president och general manager för tillämpad s Display, och energi och miljövänliga lösningar grupper. "Systemet beprövade produktivitet och egenutvecklade koppar processteknik skapa ett kraftfullt tillskott till vår starka portfölj av FPD lösningar."

Den Pivot Systemets modulära arkitektur möjliggör en stor mängd olika konfigurationer för att maximera effektiviteten i produktionen, vilket eliminerar flaskhalsar orsakade av olika process gånger i olika moduler i en traditionell in-line maskin. Den Pivot systemets kluster-liknande arrangemang ger också kontinuerlig drift under enskilda modulen underhåll. Kombinerat med långa underhållsintervaller och utökade målet liv, ger Pivot systemet högsta tillgänglighet och längsta sammanhängande produktionstid i branschen.

AKT-Pivot 55KV PVD-systemets överlägsna koppar deponeringsteknik kommer att visas upp på Applied Materials "monter på FPD International och Green Device 2009 i Yokohama, Japan, den 28-30 oktober som en del av tillämpad portfölj av avancerade FPD tillverkning lösningar. Dessa lösningar inkluderar PECVD *, PVD för TFT-matris och färgfilter, elektronstråle rad tekniker test, fabriksautomation och service. Dessutom kommer Applied Materials visa sin grön teknik enhet tillverkning, däribland sol-, låg-e glasöverdrag och rulle-till-rulle deposition för flexibel PV * och display.

Applied Materials, Inc. (Nasdaq: AMAT) är världsledande inom nanotillverkning Technology ™ lösningar med en bred portfölj av innovativa utrustning, service och mjukvara för tillverkning av halvledarkretsar, platta bildskärmar, solceller celler, flexibel elektronik och energi

effektiv glas. På Applied Materials, tillämpar vi nanotillverkning teknik för att förbättra människors sätt att leva. Läs mer på www.appliedmaterials.com.

* TFT-LCD = tunn film transistor liquid crystal display, PVD = fysisk förångningsdeposition; PECVD = plasma-förstärkt kemisk förångningsdeponering, PV = solceller

Last Update: 7. October 2011 13:21

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit