Les STMicroelectronics Joignent le CEA-Leti IMAGINENT le Programme Pour Développer la Lithographie Multiple d'E-Poutre

Published on January 18, 2010 at 7:28 AM

Les STMicroelectronics et le CEA-Leti, le principal institut de recherches Français de semi-conducteur, ont signé une convention pour que les STMicroelectronics joignent l'industrie/recherche neuves le programme qu'à partenaires multiples IMAGINENT, abouti par le CEA-Leti, qui inclut le TSMC, pour la lithographie sans masque pour la fabrication d'IC.

Ce programme de trois ans est censé pour permettre à des compagnies d'évaluer une infrastructure maskless de lithographie pour la fabrication d'IC et l'usage de la Technologie de MAPPER* pour le haut-débit. Le programme multiple de lithographie d'e-poutre couvre un élan global à la technologie, y compris l'estimation d'outil, structuration et l'intégration de processus, de manipulation de données, le prototypage et l'analyse des coûts.

Les « STMicroelectronics avaient fonctionné pour plus qu'une décennie avec le CEA-Leti sur la lithographie maskless. Ensemble, le ST et le CEA-Leti ont déterminé une pleine capacité de former-poutre sur la ligne pilote de Crolles du ST et expliqué la mise en place de la technologie d'e-poutre dans un flux de processus normal de CMOS, » a dit le Directeur de Développement de Silicium-Technologie de Joël Hartmann pour des STMicroelectronics, chez Crolles, France. La « Jointure du programme d'IMAGINATION est une phase logique pour que le ST obtienne l'accès à une solution possible de lithographie sans masque pour des noeuds de technologie d'avenir. »

« Le programme d'IMAGINATION tirera bénéfice de la connaissance intense et support des STMicroelectronics en technologie maskless, » a dit le PRÉSIDENT de Leti, Laurent Malier. « L'expérience du CEA-Leti en technologie d'e-poutre a été renforcée au cours des années par ce partenariat avec le ST pour l'usage de l'e-poutre pour des programmes de démonstration de technologie de pointe. Avec des STMicroelectronics supportant le programme d'IMAGINATION, nous sommes convaincus que nous réussirons pour effectuer à lithographie maskless une solution viable. »

* Les bureaux de la COMPAGNIE D'ASSURANCE sont situés à Delft, Le Néerlandais, près de l'Université de Delft de

Technologie ; La COMPAGNIE D'ASSURANCE fournit massivement les plates-formes parallèles de faisceau d'électrons et cet accouchement de matériel fait partie du programme de collaboration.

Last Update: 13. January 2012 07:41

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