Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

STMicroelectronics Sammanfogar CEA-Leti FÖRESTÄLLER att Programet som Framkallar Multipel E-Strålar Lithography

Published on January 18, 2010 at 7:28 AM

STMicroelectronics och CEA-Leti, det ledande Franska halvledareforskningsinstitut, har undertecknat en överenskommelse för att STMicroelectronics ska sammanfoga den nya branschen/forskningmång--partnern som programet FÖRESTÄLLER, ledde av CEA-Leti, som inkluderar TSMC, för maskerar-mindre lithography för fabriks- IC.

Detta tre-året program betyds för att låta företag bedöma en maskless lithographyinfrastruktur för fabriks- IC och bruket av MAPPER*-Teknologi för kick-genomgång. Multipeln e-strålar lithographyprogram täcker ett globalt att närma sig till teknologin, däribland bearbetar bedömning och att mönstra och bearbetar integration, databruk, prototyping och kostar analys.

”Har STMicroelectronics varit funktionsduglig för mer än ett årtionde med CEA-Leti på maskless lithography. Tillsammans har ST och CEA-Leti etablerat ett fullt forma-att stråla kapacitet på pilot- STS Crolles fodrar och visade införingen av e-strålar teknologi i ett standart processaa flöde för CMOS,”, sade Direktören för Joël Hartmann Silikon-Teknologi Utveckling för STMicroelectronics, på Crolles, Frankrike. ”Ett logiskt det är Att Sammanfoga FÖRESTÄLLAprogramet kliver för att ST ska få tar fram till en lösning för maskera-mindrelithographymöjlighet för framtida teknologiknutpunkter.”,

”Gynnar det ska FÖRESTÄLLAprogramet från den starka kunskapen, och service av STMicroelectronics i maskless teknologi,”, sade Letis VD, Laurent Malier. ”E-strålar har erfara av CEA-Leti in teknologi förstärkts över åren av detta partnerskap med ST för att använda e-strålar för avancerade teknologidemonstranter. Med understödja STMicroelectronics FÖRESTÄLLAprogramet, övertygas vi att vi ska lyckas för att göra maskless lithography en livsduglig lösning.”,

* MAPPER'SENS kontor lokaliseras i Delft, Nederländerna, nära den Delft Universitetar av

Teknologi; MAPPEREN levererar den kraftigt parallella elektronen strålar plattformar, och denna utrustningleverans är delen av samarbetsprogramet.

Last Update: 25. January 2012 16:38

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit