Novellus Expide el 1000o Sistema del VECTOR PECVD a GLOBALFOUNDRIES

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Sistemas de Novellus (NASDAQ: NVLS) anunció hoy que ha expidido el sistema plasma-aumentado 1000o VECTOR de la deposición del vapor químico (PECVD) de la compañía a los 7 Fabulosos de GLOBALFOUNDRIES en Singapur.

Un proveedor de cabeza de la tecnología de fabricación avanzada del semiconductor, GLOBALFOUNDRIES integró recientemente las operaciones de la Fabricación del Semiconductor Chartered, y utilizará el VECTOR Express™ de la piedra miliaria 300m m para la fabricación en grandes cantidades en el nodo de la tecnología 65nm y más allá en 7. Fabulosos.

Introducido Originalmente en julio de 2000, el sistema del VECTOR es un caballo de labranza de la fabricación usado para depositar una amplia gama de aplicaciones dieléctricas. En la delantero-fin-de-línea (FEOL), el VECTOR se utiliza para depositar espaciadores de la entrada y los forros, las altas películas de la tensión para esforzarse el silicio, el carbón amorfo y las capas anti-reflexivas, las películas duras de la máscara y el grabado de pistas paran capas. la Detrás-fin-de-Línea (BEOL) aplicaciones incluye los dieléctricos del inter-metal y de la intercapa, las películas de cobre de la barrera de difusión, las capas que capsulan inferiores de la constante dieléctrica, y las capas finales de la pasivación. Recientemente, el VECTOR se está empleando para las aplicaciones dieléctricas emergentes, tales como capas ultrabajas de las películas y del dieléctrico de la constante dieléctrica (ULK) usadas hacia adentro por-silicio-vía (TSV) tecnología de envasado.

La aceptación fuerte del VECTOR en el mercado de la fabricación del semiconductor es un resultado de la alta productividad de capital del producto, de los gastos inferiores de la instalación y de explotación, huella del pequeño sistema, alta repetibilidad del fulminante-a-fulminante y, único funcionamiento del defecto del dígito en los tamaños de las partículas de sub-100 nanómetro.

“La plataforma del VECTOR de Novellus se utiliza en la producción en grandes cantidades en 65nm y en los nodos avanzados de la tecnología 45/40nm en 7 Fabulosos para las aplicaciones dieléctricas de FEOL y de BEOL,” dijo a Peter Benyon, jefe de 7 operaciones Fabulosas en GLOBALFOUNDRIES. “Observamos hacia adelante a continuar nuestra sociedad con Novellus en convertirse de poco costo, soluciones tecnológicas avanzadas para ayudar a nuestros clientes rápidamente a traer sus diseños innovadores para comercializar.”

“Estamos muy contentos conmemorar esta remesa de la piedra miliaria con la aceptación de la compañía de nuestra 1000a herramienta, pues Cargado hacemos una parte del nuevo GLOBALFOUNDRIES,” dijo a Kevin Jennings, vicepresidente de la unidad de asunto del PECVD de Novellus. “Chartered compró su primer sistema del VECTOR en 2004, y había sido de largo un cliente importante de Novellus. Esperamos desarrollar igualmente una relación estrecha con GLOBALFOUNDRIES.”

Novellus Systems, Inc. (Nasdaq: NVLS) es proveedor de cabeza del equipo de proceso avanzado para la industria global del semiconductor. Los productos de la compañía entregan valor a los clientes proporcionando a la tecnología innovadora retrocedida por productividad de confianza. Una compañía de S&P 500, Novellus se establece jefatura en San Jose, California con las oficinas subsidiarias a través del globo.

Last Update: 13. January 2012 05:17

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