Novellus אניות וקטור 1000 PECVD המערכת GLOBALFOUNDRIES

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Novellus מערכות (סימול: NVLS) הודיעה היום כי היא סיפקה וקטור 1000 של החברה משופרת פלזמה בתצהיר כימיים אדי (PECVD) מערכת Fab "GLOBALFOUNDRIES 7 בסינגפור.

ספקית מובילה של טכנולוגיה מתקדמת של מוליכים למחצה ייצור, GLOBALFOUNDRIES משולב לאחרונה את הפעילות של ייצור סמיקונדקטור Chartered, וישתמש ציון דרך 300mm וקטור Express ™ עבור נפח ייצור גבוה ב הצומת הטכנולוגיה מעבר 65nm ו-Fab 7.

במקור הציג ביולי 2000, מערכת וקטור הוא סוס עבודה ייצור השתמשו להפקיד מגוון רחב של יישומים דיאלקטרי. בתוך הקו החזיתי-של (FEOL), וקטור משמשת להפקיד מפרידי השער ספינות, סרטי מתח גבוה עבור מאמץ, סיליקון פחמן אמורפי אנטי רפלקטיבי שכבות, סרטים מסכת קשה שכבות להפסיק לחרוט. Back-end-of-line (BEOL) כוללים יישומים דיאלקטריים בין מתכת בין השכבה, דיפוזיה נחושת סרטים מכשול, נמוך קבוע דיאלקטרי מכסת שכבות, שכבות פסיבציה הסופי. לאחרונה, וקטור הוא להיות מועסק עבור יישומים דיאלקטרי המתעוררים, כגון Ultra-Low קבוע דיאלקטרי (ULK) סרטים שכבות דיאלקטרי שימוש בטכנולוגיה באמצעות סיליקון, דרך (TSV) האריזה.

קבלת החזקה של וקטור בשוק בייצור מוליכים למחצה הוא תוצאה של פריון הון גבוהה של המוצר, התקנה נמוכה והוצאות תפעול, טביעת מערכת קטנה, הדירות גבוה רקיק-to-רקיק, פגם אחד הביצועים ספרות בתת-100 גודל החלקיקים ננומטר.

"פלטפורמת וקטור Novellus משמש נפח ייצור גבוה ב -65 וב בלוטות טכנולוגיה מתקדמת 45/40nm ב-Fab 7 עבור יישומים דיאלקטרי הן FEOL ו BEOL", אמר פיטר בניון, ראש Fab 7 פעולות ב GLOBALFOUNDRIES. "אנו מצפים להמשך השותפות שלנו עם Novellus בפיתוח העלות האפקטיבית, פתרונות טכנולוגיים מתקדמים כדי לעזור ללקוחות שלנו במהירות להביא עיצובים חדשניים שלהם לשוק".

"אנו שמחים מאוד להיות להנצחת זה ציון דרך המשלוח עם קבלה של החברה ככלי 1000 שלנו, כמו Chartered הופך לחלק GLOBALFOUNDRIES חדש", אמר קווין ג'נינגס, סגן נשיא בכיר של יחידה עסקית PECVD Novellus '. "Chartered רכשה מערכת וקטור הראשון שלה בשנת 2004, היה ארוך לקוח חשוב של Novellus. אנו מקווים לפתח מערכת יחסים קרובה עם GLOBALFOUNDRIES באותה מידה".

Novellus Systems, Inc (סימול: NVLS) היא ספקית מובילה של ציוד בתהליך מתקדם עבור תעשיית המוליכים למחצה העולמית. מוצרי החברה לספק ערך ללקוחות באמצעות מתן טכנולוגיה חדשנית מגובה הפרודוקטיביות מהימן. S & P 500 החברה, Novellus שבסיסה בסן חוזה, קליפורניה עם משרדי חברת הבת על פני הגלובוס.

Last Update: 4. October 2011 19:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit