GLOBALFOUNDRIESのノベラス船第千VECTOR PECVDシステム

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

ノベラスシステムズ(NASDAQ:NVLS)は本日、シンガポールでGLOBALFOUNDRIES"のFab 7に、同社の第千VECTORプラズマ化学気相堆積(PECVD)システムを出荷したことを発表しました。

高度な半導体製造技術のリーディングプロバイダ、GLOBALFOUNDRIESは最近、チャータードセミコンダクターマニュファクチャリングの操作を統合、およびFab 7の65nm技術ノード以降での大量生産のためにマイルストーン300ミリメートルVECTOR Express™を使用します。

もともとは2000年7月に導入、ベクター系は、誘電体の広範囲のアプリケーションを堆積させるために使用される製造主力製品です。フロントエンドオブライン(FEOL)で、VECTORは、シリコン、アモルファスカーボンと反射防止層、ハードマスク膜とエッチストップ層に負担をかけるためにゲートのスペーサーとライナー、高応力膜を堆積させるために使用されます。バックエンドオブライン(BEOL)アプリケーションは、金属間および層間絶縁膜、銅拡散バリア膜、低誘電率キャップ層、及び最終的なパッシベーション層が含まれています。最近、ベクターは、シリコン貫通ビア(TSV)パッケージ技術分野において使用される超低誘電率(ULK)膜と誘電体層などの新興誘電アプリケーション用に採用されている。

半導体製造市場におけるベクトルの強力な受け入れは、製品の高い資本の生産性、低い設置コストと運用コスト、小規模なシステムのフットプリント、高ウェーハ間の再現性と、100nm以下の粒子サイズの1桁の数字欠陥のパフォーマンスの結果です。

"ノベラスVECTORのプラットフォームは、65nmのとFEOLとBEOLの両方誘電体のアプリケーション用のFab 7で高度な45/40nmテクノロジーノードにおける量産で使用されている、"ピーターBenyon、GLOBALFOUNDRIESでのFab 7の操作の頭部を言った。 "私たちは、お客様が迅速に市場に革新的なデザインをもたらすことを支援する費用対効果の高い、先進的な技術ソリューションを開発するのノベラスとのパートナーシップを継続していきたいと考えて。"

"我々は非常にチャータードは、​​新しいGLOBALFOUNDRIESの一部になると、私たちの第千ツールの企業の受け入れでは、このマイルストーンの出荷を記念するために喜んでいる、"ケビンジェニングス、ノベラスのPECVDビジネスユニットの上級副社長は語った。 "チャータード銀行は2004年にその最初のベ​​クトルのシステムを購入し、長いノベラスの重要な顧客だった。私たちは、GLOBALFOUNDRIESと同様に密接な関係を開発することを望む。"

ノベラスシステムズ社(NASDAQ:NVLS)は、グローバル半導体産業において先進のプロセス機器のリーディングプロバイダです。同社の製品は、信頼された生産性に裏付けされた革新的なテクノロジーを提供することにより、お客様に価値を提供します。 S&P 500 companyであるノベラスは、世界中に拠点のオフィスをカリフォルニア州サンノゼに本社を構えています。

Last Update: 5. October 2011 22:56

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