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Novellus 선박 1천번째 벡터는 GLOBALFOUNDRIES에 시스템 PECVD

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Novellus 시스템 (NASDAQ : NVLS)는 오늘날 그것이 싱가포르에서 GLOBALFOUNDRIES '팹 7 회사의 1천번째 벡터 플라즈마 강화된 화학 기상 증착 (PECVD) 시스템을 출하했다고 발표했다.

고급 반도체 제조 기술의 선도적인 제공 업체인 GLOBALFOUNDRIES는 최근 전세 반도체 제조의 작업을 통합하고, 팹 7의 65 나노미터 기술 노드 이상의 대용량 제조를위한 이정표 300mm 벡터 익스프레스 ™를 사용합니다.

원래 2000 년 7 월에 도입, 벡터 시스템은 유전체 응용 프로그램의 다양한 입금하는 데 사용되는 제조 일하는 말이 있습니다. 프런트 엔드 -의 라인 (FEOL)에서 벡터는 실리콘, 비정질 탄소 및 안티 - 반사 층, 하드 마스크 필름 및 식각 정지 레이어를 긴장에 대한 게이트 스페이서와 라이너, 높은 스트레스 필름을 입금하는 데 사용됩니다. 백 엔드 -의 라인 (BEOL) 응용 프로그램 간 금속 간 계층 절연체, 구리 확산 장벽 필름, 낮은 유전 상수 상한 레이어, 그리고 최종 패시베이션 레이어를 포함합니다. 최근 벡터는 같은 초저 유전 상수 (ULK) 필름과를 통해 - 실리콘을 통해 (TSV) 포장 기술에 사용되는 유전체 레이어와 같은 신흥 유전체 응용 프로그램에 대한 고용하고있다.

반도체 제조 시장에서 벡터의 강력한 수용이 제품의 높은 자본 생산성, 낮은 설치 및 운영 비용, 작은 시스템 풋프린트, 높은 웨이퍼 - 투 - 웨이퍼 repeatability하고 하위 - 100 나노미터 입자 크기의 단일 숫자 결함의 성능 결과입니다.

"Novellus 벡터 플랫폼에서 65 나노미터 및 FEOL 및 BEOL 모두 유전체 응용 프로그램을위한 팹 7의 고급 45/40nm 기술 노드에서 대량 생산에 사용되는,"​​피터 Benyon, GLOBALFOUNDRIES에 팹 7 운영 책임자는 말했다. "우리는 고객이 빠르게 시장에 그들의 혁신적인 디자인을 유치하는 데 도움이 비용 효율적인 고급 기술 솔루션을 개발 Novellus과의 파트너십을 지속하기 위해 최선을 다하겠습니다."

"우리는 매우 차타드가 새 GLOBALFOUNDRIES의 일부되면서 우리 1,000번째 도구의 회사의 승인이 이정표의 선적을 기념 것을 기쁘게 생각하고있다"케빈 제닝스, Novellus 'PECVD 사업 부문의 수석 부사장은 말했다. "전세는 2004 년 최초의 벡터 시스템을 구입하고, 긴 Novellus의 중요한 고객이었다. 우리는 GLOBALFOUNDRIES와 마찬가지로 밀접한 관계를 개발하기 바랍니다."

Novellus 시스템즈 (나스닥 : NVLS)는 세계 반도체 산업을위한 고급 공정 장비의 선두 주자입니다. 이 회사의 제품은 믿을 수있는 생산성을 바탕으로 혁신적인 기술을 제공함으로써 고객에게 가치를 제공합니다. S & P 500 회사는, Novellus은 전세계 자회사 사무소 캘리포니아 산호세에 본사를두고있다.

Last Update: 5. October 2011 10:25

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