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La Tecnología de Energetiq Suelta el Iluminador De estado sólido del LED para la Aplicación en Litografía del Semiconductor

Published on February 19, 2010 at 3:34 AM

Energetiq Technology, Inc., revelador y fabricante de fuentes de luz especializadas para las aplicaciones de la tecnología avanzada, ha anunciado un Iluminador de estado sólido del LED a su producto de la fuente de luz que ofrecía para el uso en litografía del semiconductor. El Iluminador de Energetiq LED será introducido en la Litografía Avance SPIE, 23-24 de febrero de 2010 en San Jose, CA.

El Iluminador de Energetiq LED tiene una vida útil larga -- hasta 20.000 horas -- tan no hay cambios del bulbo y tiempo fuera de servicio subsiguiente del sistema como puede ocurrir con el uso de las lámparas de mercurio tradicionales. Ofrece la uniformidad excepcional de la iluminación, típicamente menos el de 2% de la falta de uniformidad -- ninguna necesidad de un homogeneizador adicional. Además, la capacidad con./desc. instantánea del Iluminador del LED permite la operación sin un obturador.

“Históricamente, los LED ULTRAVIOLETA no se han considerado prácticos como fuentes de la iluminación debido a su energía baja y brillantez,” dijo a Paul Blackborow, CEO de Energetiq. “Nuestra experiencia en alta brillantez, las fuentes de luz de alto rendimiento nos ha permitido crear un iluminador del LED que puede producir la brillantez y mover por motor necesario para las aplicaciones litográficas de hoy, con ventajas importantes sobre las lámparas de mercurio. El Costo de la propiedad es grandemente disminuido debido a la larga vida de nuestra lámpara. El mando superior de la uniformidad y ningunas ventajas del calentamiento del Iluminador del LED proveen de nuestros clientes oportunidades aumentadas del funcionamiento. Nuestro motor pálido propietario y técnica de enfriamiento sofisticada lleva a un diseño muy compacto que pueda eliminar la necesidad de los obturador mecánicos, filtros y la óptica costosa, de tal modo reduciendo complejidad de sistema y huella de la herramienta.”

El Iluminador de Energetiq LED está disponible en una opción de las versiones 365nm (yo-línea) o 365/405/440nm (i/h/g-line) y puede ser integrado en las herramientas nuevas o adaptadas.

Fuente: http://www.energetiq.com/

Last Update: 13. January 2012 03:52

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