Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Save 20% On a Jenway 7315 Spectrophotometer from Bibby Scientific

There is 1 related live offer.

20% Off Jenway Spectrophotometer

La Technologie d'Energetiq Lâche l'Illuminateur Semi-conducteur de LED pour l'Application en Lithographie de Semi-conducteur

Published on February 19, 2010 at 3:34 AM

Energetiq Technology, Inc., un révélateur et constructeur des sources lumineuses spécialisées pour des applications de technologie de pointe, a annoncé un Illuminateur semi-conducteur de LED à son offre de produits de source lumineuse pour l'usage en lithographie de semi-conducteur. L'Illuminateur d'Energetiq LED sera introduit à la Lithographie Avancée par SPIE, les 23-24 février 2010 dans San Jose, CA.

L'Illuminateur d'Energetiq LED a une longue durée de fonctionnement -- jusqu'à 20.000 heures -- tellement il n'y a aucun modification de bulbe rachidien et temps d'arrêt ultérieur de système comme peut se produire avec l'utilisation des lampes de mercure traditionnelles. Il offre l'uniformité exceptionnelle de l'illumination, en général moins de 2% de l'irrégularité -- aucun besoin de homogénisateur supplémentaire. De plus, la capacité mise en marche/arrêt instantanée de l'Illuminateur de LED tient compte du fonctionnement sans volet.

« Historiquement, l'UV LED n'ont pas été considérés pratique comme sources d'illumination à cause de leur faible puissance et brilliance, » a dit Paul Blackborow, PRÉSIDENT d'Energetiq. « Nos compétences dans l'intense luminosité, les sources lumineuses à haute production nous ont permises de produire un illuminateur de LED qui peut produire la brilliance et actionner nécessaire pour des applications lithographiques d'aujourd'hui, avec des avantages importants par rapport aux lampes de mercure. Le Coût de possession est grand dû diminué à la longue durée de notre voyant. Le contrôle supérieur d'uniformité et aucun avantage de préchauffage de l'Illuminateur de LED ne fournissent à nos abonnées des opportunités améliorées de performance. Notre engine légère de propriété industrielle et technique de refroidissement sophistiquée mène très à un design compact qui peut éliminer le besoin de volets mécaniques, filtres et bloc optique coûteux, réduisant de ce fait la complexité de système et l'empreinte de pas d'outil. »

L'Illuminateur d'Energetiq LED est disponible dans un choix des versions 365nm (je-line) ou 365/405/440nm (i/h/g-line) et peut être intégré dans les outils nouveaux ou rattrapés.

Source : http://www.energetiq.com/

Last Update: 13. January 2012 04:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit