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HUST y Vistec Colaboran Para Aumentar la Investigación y la Educación en Nanolithography

Published on April 13, 2010 at 2:56 AM

La Litografía de Vistec, B.V. está satisfecha anunciar hoy que firmó un acuerdo estratégico de la sociedad con la Universidad de la Ciencia y de la Ingeniería Optoelectrónicas en la Universidad de Ciencia y Tecnología de Huazhong en Wuhan, BANDA de China.

Sistema de la litografía del electrón-haz de Vistec EBPG5000pES

La Universidad de Ciencia y Tecnología de Huazhong (HUST) - una universidad dominante nacional en Litografía de China y de Vistec - un surtidor de cabeza de los sistemas de la litografía del electrón-haz colaborará en la investigación y la educación del nanolithography.

La base de ese proyecto es el sistema de la litografía del electrón-haz de Vistec EBPG5000pES, que permitirá a la Universidad de la Ciencia y de la Ingeniería Optoelectrónicas aumentar su eficacia de la investigación y de la educación para sus estudiantes y los socios asociados de la investigación. “Con el nuevo sistema que modela podemos fortalecer más lejos nuestra posición de cabeza en el photonics y optoelectrónica, que son las tecnologías más potentes del siglo XXI”, Profesor declarado Miao Xiangshui y Profesor Zhou Wenli.

El Vistec EBPG5000pES es una herramienta de alto rendimiento de la litografía basada en la configuración de sistema segura y bien-probada. Con su olumna electrón-óptica (fuente de TFE) clasificada para los voltajes de aceleración de 50 y de 100kV, el sistema proporciona a una talla de mancha hacia abajo a <2.2nm, así permitiendo que las estructuras de la nano-litografía más pequeñas que 8nm sean generadas rutinario. El sistema incorpora una interfaz gráfica de usuario interactiva (GUI) que proporcione a la facilidad de empleo para diverso, multiusos, tipo ambientes de la universidad.

“Somos muy orgullosos haber sido seleccionado como socio por la Universidad de Huazhong, la audiencia científica amplia de HUST y la red de la investigación es de hecho impresionante”, dijo a Erwin Mueller, Litografía de Director de Gerente Vistec, B.V. “Con la confiabilidad campo-probada EBPG5000pES en Universidades delanteras del borde e Institutos de Investigación por todo el mundo y basado en las experiencias completas del estado mayor de Vistec podemos proporcionar a HUST una buena base para perseguir su mapa itinerario estratégico de la investigación. Observamos hacia adelante a otra expansión de negocio en China.”

Fuente: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 12. January 2012 23:00

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