Posted in | Nanoelectronics

IMEC Σετ σημαντικό βήμα προς την 20nm Pitch Half διασυνδέσμους

Published on July 13, 2010 at 8:24 PM

IMEC παρουσιάζει μεγάλο βήμα προς την 20nm ένα δεύτερο γήπεδο διασυνδέει με την υλοποίηση των ηλεκτρικά λειτουργική γραμμές χαλκού ενσωματωθούν σε οξείδιο του πυριτίου χρησιμοποιώντας μια spacer καθορισμένη διπλή προσέγγιση σχηματομόρφωσης.

Διατομής TEM ανάλυση των 20nm ½ γήπεδο διασυνδέει μετά ενσωμάτωσή της στην ενιαία Δαμασκηνός χρησιμοποιώντας ένα spacer ορίζεται διπλή προσέγγιση σχηματομόρφωσης.

"Είμαστε πολύ υπερήφανοι που είμαστε το πρώτο στον κόσμο στην ανάπτυξη και την επεξεργασία αυτών των μικρών στο γήπεδο εργασίας διασυνδέει?", Δήλωσε ο Zsolt Tokei, διευθυντής προγράμματος διασυνδέει στο IMEC. "Spacer καθορισμένες (ή αυτο-ευθυγραμμισμένο) διπλό σχηματομόρφωσης έχει κερδίσει πρόσφατα το ενδιαφέρον, όπως η τεχνική σχηματομόρφωσης για τις μελλοντικές συσκευές μνήμης flash. Είμαι βέβαιος ότι οι εταιρείες μνήμη θα επωφεληθούν από αυτό το αποτέλεσμα state-of-the-art ".

Κλιμάκωση των διασυνδέσεων για 20nm ένα δεύτερο γήπεδο αντιμετωπίζει πολλές προκλήσεις. Διπλό σχηματομόρφωσης λιθογραφία είναι απαραίτητη δεδομένου ότι οι γραμμές μέταλλο δεν μπορεί να πραγματοποιηθεί σε ένα ενιαίο εκτύπωσης. Ως εκ τούτου, μια λύση είναι αναγκαία για τον πραγματικό διαχωρισμό σχεδιασμό των δομών και την ευθυγράμμιση των διαφόρων μάσκες. Και, πλήρωση (υπο-) 20nm γραμμές δεν είναι δυνατόν με βάση το τυπικό εναπόθεση ατμού με φυσική του Tan / Ta με βάση επιμετάλλωση. Επιπλέον, ο έλεγχος της τραχύτητας line-άκρη γίνεται ολοένα και πιο δύσκολη με την περαιτέρω κλιμάκωση. Και, τέλος, τη μηχανική της στοίβας σχηματομόρφωσης απαιτείται για τη βέλτιστη πρόσφυση.

IMEC έδειξε σχηματομόρφωσης και επιμετάλλωση των 20nm γραμμές χαλκού ένα δεύτερο γήπεδο σε οξείδιο του πυριτίου με ένα μεταλλικό TiN σκληρή μάσκα. Η σχηματομόρφωσης βασίζεται σε μια θυσιαστική διπλό σκληρό μάσκα και χρησιμοποιεί 3 φωτογραφίες (CORE, TRIM και patch) και τέσσερα βήματα etch. Η φωτογραφία CORE καθορίζει πυκνές γραμμές σε 40nm γήπεδο μισό, το οποίο μετά την επένδυσή της, χαράζει και spacer αποτελέσματα εναπόθεση σε 20nm βρόχους spacer ένα δεύτερο γήπεδο. Η TRIM κάνει μεγάλα ανοίγματα για τη μείωση του spacer βρόχους μακριά από etch. Και PATCH καθορίζει την τελική διάταξη, ηλεκτρικές συνδέσεις και τα μαξιλάρια ομολόγων. Επικάλυψη έλεγχος έχει ζωτική σημασία προκειμένου να καταλήξουμε με την σχεδιαστεί διάγραμμα δοκιμής. Η απόσταση διηλεκτρικό μεταξύ των γραμμών μετάλλων ήταν ελεγχόμενη με ακρίβεια χάρη στη spacer καθορισμένες μεθόδου της πλήρους ενοποίησης. Μια Ρουθήνιο σύστημα βάσει επιμετάλλωση ήταν χρησιμοποιηθούν για την αξιοποίηση κενό-λιγότερο γέμισμα.

Διηλεκτρικές ιδιότητες κατανομή των διασυνδέει μετρήθηκαν και τα αποτελέσματα είναι πολύ ενθαρρυντικά, όπως στον τομέα ανάλυση είναι κοντά με τις εγγενείς ιδιότητες κατανομή διηλεκτρική του αζώτου και στρώματα καπάκι διηλεκτρικό.

Τα αποτελέσματα αυτά επιτεύχθηκαν σε συνεργασία με βασικούς εταίρους IMEC στη βασική προγράμματα CMOS του: Intel, Micron, Panasonic, Samsung, η TSMC, η Sony, η Fujitsu, η Infineon, Qualcomm, ST Μικροηλεκτρονικής, Amkor.

IMEC εκτελεί τον κόσμο με ηγετική θέση στην έρευνα στον τομέα της νανοηλεκτρονικής. IMEC αξιοποιεί την επιστημονική γνώση της με την καινοτόμο δύναμη της παγκόσμιας συνεργασίας της στον τομέα των ΤΠΕ, την υγειονομική περίθαλψη και η ενέργεια. IMEC προσφέρει βιομηχανία-σχετικές τεχνολογικές λύσεις. Σε ένα μοναδικό υψηλής τεχνολογίας περιβάλλοντος, το διεθνές κορυφαία ταλέντα της, είναι αποφασισμένη να προσφέρει τις βάσεις για μια καλύτερη ζωή σε μια βιώσιμη κοινωνία. IMEC έχει την έδρα της στο Leuven, στο Βέλγιο, και έχει γραφεία στο Βέλγιο, την Ολλανδία, Ταϊβάν, ΗΠΑ, την Κίνα και την Ιαπωνία. Το προσωπικό της πάνω από 1.750 άνθρωποι περιλαμβάνει πάνω από 550 βιομηχανικές κατοίκων και των επισκεπτών ερευνητών. Το 2009, τα έσοδα IMEC του (P & L) ήταν € 275 εκατομμύρια.

IMEC είναι σήμα κατατεθέν για τις δραστηριότητες της IMEC International (νομικό πρόσωπο που έχει συσταθεί κατά το βελγικό δίκαιο ως "Stichting van Openbaar παξιμάδι"), IMEC στο Βέλγιο (IMEC vzw υποστηρίζεται από τη φλαμανδική κυβέρνηση), IMEC τις Κάτω Χώρες (Stichting IMEC Nederland, μέρος της Holst Κέντρο το οποίο υποστηρίζεται από την ολλανδική κυβέρνηση), IMEC Ταϊβάν (IMEC Ταϊβάν ΣΙΑ) και IMEC Κίνα (IMEC Μικροηλεκτρονικής (Σαγκάη) ΣΙΑ Ε.Π.Ε.).

Last Update: 3. October 2011 02:40

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit