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ADT Sécurise SBIR Fonds pour le développement de conditionneurs de nouveau pad

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

Technologies Avancées Diamond (ADT) a reçu une première phase de recherche à petite Business Innovation (SBIR) subvention de la National Science Foundation (NSF) pour développer la prochaine génération de climatiseurs chimiques planarisation mécanique pad (CMP) pour l'industrie des semiconducteurs.

Les saillies contrôlée géométriques sur ADT microfabriqué conditionneurs diamant coussin CMP permettent la production de la prochaine génération de dispositifs semi-conducteurs, tout en offrant l'inertie chimique inégalée de diamant sans le "sortir" l'échec qui caractérisent actuellement disponibles diamants coussinets CMP.

Image de Technologies Avancées Diamond 'hautement reproductibles, échelle de la plaquette, les structures de diamants 3D disponibles dans des hauteurs différentes et la structure des emplacements pour conçu conditionneurs pad CMP.

Conditionneurs pad ADT fonction hautement reproductible des structures 3D de diamants qui créent une surface texturée, et de nombreuses hauteurs différentes structures et les emplacements peuvent être facilement modifiées. Ces conditionneurs pad sont fabriqués en utilisant des techniques très raffinées de traitement de semi-conducteurs qui permettent HAA offrir des produits qui sont de bien meilleure qualité que la génération actuelle des climatiseurs à des prix compétitifs.

«Les avantages d'une surface de diamant micro-usinés comprennent une faible usure et structuration du diamant précis, pour répondre aux exigences du nœud 32 nm et au-delà, ce qui peut entraîner des conditionneurs pad CMP qui durent plus longtemps et plus performantes que les normes actuelles de l'industrie», a déclaré le Dr . John A. Carlisle, directeur technique, ADT.

«Avec une commande potentielle de l'augmentation de grandeur en vie pour le conditionneur de tampon, la fréquence de l'évolution des deux pad et conditionneur tampon peut être réduite, économisant temps et argent", a déclaré le Dr Diane P. Hickey, directeur des ventes et du marketing, ADT. «Nos conditionneurs pad peut être conçue et optimisée pour le pad et combinaisons lisier. Nous travaillons en partenariat avec les acteurs de l'industrie CMP pour apporter cette technologie passionnante sur le marché. "

ADT remercie programme SBIR de la NSF pour le parrainage de ce travail.

Source: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 3. October 2011 02:54

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