ADT Mengamankan SBIR Dana untuk Mengembangkan Conditioners Pad Baru

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

Diamond Advanced Technologies (ADT) menerima Tahap I Penelitian Inovasi Usaha Kecil (SBIR) hibah dari National Science Foundation (NSF) untuk mengembangkan generasi berikutnya mekanik kimia (CMP) pad conditioner planarization untuk industri semikonduktor.

Para tonjolan geometri terkontrol pada microfabricated ADT CMP berlian conditioner pad memungkinkan produksi perangkat semikonduktor generasi berikutnya sambil menawarkan inertness kimia yang tak tertandingi berlian tanpa kegagalan "menarik keluar" yang mencirikan saat ini tersedia berlian bantalan CMP.

Gambar sangat diulang skala Diamond Advanced Technologies, wafer, struktur berlian 3D tersedia di ketinggian struktur yang berbeda dan pitches untuk pengatur suhu pad CMP direkayasa.

Conditioner pad ADT struktur berlian fitur 3D yang sangat diulang menciptakan permukaan bertekstur, dan struktur ketinggian yang berbeda dan pitches dapat dengan mudah direkayasa. Ini kondisioner pad diproduksi menggunakan teknik pemrosesan semikonduktor yang sangat halus yang memungkinkan ADT untuk menawarkan produk yang berkualitas jauh lebih tinggi daripada generasi sekarang conditioner dengan harga yang kompetitif.

"Manfaat dari permukaan berlian micromachined termasuk memakai rendah dan pola berlian yang tepat, untuk memenuhi tuntutan dari node 32 nm dan seterusnya, yang dapat mengakibatkan kondisioner CMP pad yang lebih lama dan melakukan lebih baik daripada standar industri saat ini," kata Dr John A.. Carlisle, kepala kantor teknologi, ADT.

"Dengan urutan potensi peningkatan besar dalam seumur hidup untuk kondisioner pad, frekuensi mengubah baik pad dan kondisioner pad dapat dikurangi, menghemat waktu dan uang," kata Dr Diane P. Hickey, direktur penjualan dan pemasaran, ADT. "Kondisioner pad kami dapat dirancang dan dioptimalkan untuk pad yang berbeda dan kombinasi bubur. Kami bermitra dengan pelaku industri CMP untuk membawa teknologi ini menarik untuk pasar. "

ADT mengucapkan terima kasih Program SBIR NSF untuk mensponsori pekerjaan ini.

Sumber: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 14. October 2011 14:31

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit