ADT獲得 SBIR計劃開發新的墊調節基金

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

先進鑽石技術(ADT),收到一個階段小企業創新研究(SBIR)從國家科學基金會(NSF)撥款,以開發下一代半導體行業的化學機械研磨(CMP)墊調節。

ADT的微型鑽石研磨墊調節器控制的幾何突起使下一代半導體器件的生產,同時提供無與倫比的鑽石的化學惰性,沒有“拉”的失敗,目前可用的鑽石化學機械研磨墊上的特點。

先進鑽石技術的高度可重複的,晶圓級圖像,三維金剛石結構,不同結構的高度和球場設計的研磨墊調節器。

ADT的墊調節功能,高度可重複的三維金剛石結構,創建一個紋理的表面,並且可以很容易地設計許多不同結構的高度和足球場。這些墊調節器是採用高度精煉的半導體加工技術,使ADT提供的產品質量遠高於目前這一代的競爭力的價格空調。

“微加工鑽石表面的好處包括低磨損和精確的鑽石圖案,以滿足 32納米節點及以後的需求,這可能會導致研磨墊空調,持續時間更長,性能優於目前行業標準,”博士說:約翰 A卡萊爾,首席技術官,ADT的。

,ADT的銷售和營銷總監黛安體育希基,博士說:“潛在訂單的增加幅度墊空調的使用壽命,可改變墊和墊空調的頻率降低,節省時間和金錢,”。 “我們的墊調節器,可以設計不同的墊和研磨液的組合進行了優化。我們的合作與 CMP業內人士把這一激動人心的技術推向市場。“

ADT的衷心感謝贊助這項工作的國家科學基金會的SBIR計劃。

來源: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 3. October 2011 11:14

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