名城大学からAixtron社を固定新MOCVDシステムの注文

Published on July 27, 2010 at 5:23 AM

Aixtron社AGは、今日一閉じる結合シャワーヘッドのための新しい秩序は、名古屋の名城大学、、日本で確立されたAixtron社の顧客から基づいて、LEDのMOCVDシステムのGaNを発表しました。名城大学での委員会の新しい原子炉をされる順序は、今年初めに受信され、システムは、3x2のインチウエハconfiguration.TheローカルAixtron社のサポートチームに2010年第4四半期に配信されます。

順序はEpiCurveTTとAixtron社ARGUSのin - situのツールの両方が含まれています。後者は、リアルタイムの表面温度の測定と解析を可能にし、完全なサセプタの温度マッピングに使用できる唯一の​​サーマルプロファイリング装置である新しいマルチチャンネル温度計です。

准教授岩谷素のコメントは、"名城大学では、超省エネ、高演色、長寿命、時間と低いと照明と殺菌光源用白色LEDおよびUV - LEDを開発するためにLED共同研究センターを設立する予定低コスト。このセンターは、高度な研究機関として選定し、経済産業省(METI)によって資金を供給されています。センターは、コラボレーションのためのパートナー企業と共有されます。協力会社の一つは、EL - SEED(株)、名城大学からスタートアップのベンチャー企業は、中央での新エネルギー産業技術総合開発機構(NEDO)によってサポートされている次世代白色LEDの研究プロジェクトを実施します。我々は現在のシステム、AIX 4分の200 RF - Sで非常に満足しています。さらに、Aixtron社の実績のあるR&Dシャワーシステムは、過去に彼らの偉大なスケーラビリティとシャ​​ワーヘッドの生産システムへの容易なプロセス移動を示している。 3x2のインチのシステムは簡単に2との間で切り替えを可能にし - 、3 - および4インチウエハを、プロセス条件のいずれかの主要な適応なし。完全に、我々はAixtron社MOCVD装置は、GaN系LEDの開発の困難な作業に最適であると確信しています。"

ソース: http://www.aixtron.com/

Last Update: 4. October 2011 02:02

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