Det Nya Eterna FCVD Systemet från Applicerade Material för Logik 20nm Gå i flisor

Published on August 25, 2010 at 2:16 AM

Applicerade Material, Inc. meddelade i dag dess genombrottet Applicerade Producer® Eterna™ FCVD™ (Flowable CVD1) system, första och filmar endast avlagringteknologi som är kapabel av isolering elektriskt av depackade transistorerna i minnet 20nm-and-below, och logik gå i flisor designer med en högkvalitativ dielectric filmar.

Mellanrummen mellan dessa transistorer kan ha aspektförhållanden av mer, än 30:1 - fem tider higher än strömkrav - och hög-komplex profilerar. Det unika Eterna FCVD systemet bearbetar fyller fullständigt upp dessa mellanrum från bottnen och att leverera ett tätt, filmar denfria dielectricen på upp till halvan kosta av snurrande-på avlagringmetoder - som kräver mer utrustning, och många extra processaa kliver.

Applicerade Material introducerar dess genombrottEterna FCVD system, filmar första och endast teknologin som är kapabla av att sätta in en högkvalitativ dielectric, mellan tät-packade transistorer i 20nm, och det nedanföra minnet och logik gå i flisor.

”Strukturerar behovet att fylla mindre och djupare i avancerat gå i flisor designer skapar en läkarundersökningväggspärr för existerande avlagringteknologier. Applied har brutet till och med denna barriär i dag med inledningen av dess nya Eterna FCVD system - leverera den splittra teknologin, som kan möjliggöra det fortsatte framsteg av Moores Lag,”, sade Räkningen McClintock, vicepresident och den allmänna chefen av Applieds Enheten för Affären för DSM/CMP2. ”Med det Eterna FCVD systemet som Appliceras fortsätter dess årtionde-långa ledarskap i Gap-påfyllningen teknologi som ger ett unikt som förenklas, och deneffektiva lösningen för att kunder ska möta de nya utmaningarna av multipeln gå i flisor utvecklingar.”,

Levererar processaa Applieds privat Eterna FCVD ennågot liknande filmar att flöden in i faktiskt några strukturerar fritt formar för att ge upp en botten, denfria påfyllningen. Det Eterna FCVD systemet installeras på sex kundplatser för SUP, Exponerar och Logikapplikationer, var det integreras på Applieds plattformen för riktlinjeProducenten.

Källa: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 26. January 2012 11:54

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit