Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Vistec de Lithografie Ontvangt Orde van INL in Portugal

Published on September 6, 2010 at 7:50 AM

Vistec de Lithografie, heeft een belangrijke leverancier van geavanceerde elektron-straal lithografiesystemen vandaag aangekondigd dat het Internationale Iberische Laboratorium van de Nanotechnologie (INL) in Braga, Portugal een orde voor Vistec elektron-straal lithografiesysteem EBPG5200 heeft geplaatst.

Het Portugese Laboratorium is de eerste volledig internationale onderzoekorganisatie in Europa op het gebied van nanoscience en nanotechnologie.

Elektron-straal EBPG5200 lithografiesysteem

    
INL, die door Portugal en Spanje sommige jaren geleden werd gevestigd, heeft zich nu in de het uitrusten fase van zijn nieuwe onderzoekfaciliteit bewogen, waar de lithografieapparatuur een belangrijke rol zal spelen. Met de Vistec EBPG5200 reeks en zijn unieke en flexibele nanoscale die mogelijkheden vormen, heeft INL één van de meest geavanceerde elektron-straal lithografiesystemen voor nanotechnologieonderzoek en ontwikkeling verworven. Voorts zal dit de eerste installatie van een systeem EBPG5200 bij het Iberisch Schiereiland zijn.

Vistec EBPG5200 is de recentste versie van de hoogst opeenvolgende en gebied-bewezen van het elektron-straal EBPG reeks lithografiehulpmiddel. Het systeem EBPG5200 kan met zowel 50 als versnellend voltage worden in werking gesteld 100kV en is uitgerust met een 50MHz patroongenerator en een volledige 20bit adrestechnologie.

Dank aan verdere verhogingen in resolutie, lawaaivermindering en straalstabiliteit, wordt Vistec EBPG5200 geplaatst om structuren aan minder dan 8nm op variërende substratengrootte van stukdelen van een paar millimeter aan hoogtepunt te produceren die over een 200mm diameter vormen.
Nochtans is, wat Vistec elektronenstraallithografie van superieure normen zo uniek en eigenlijk mogelijk maakt, de perfecte gelijke van de diverse systeemcomponenten zoals de elektron-optische kolom, het hardwareplatform, de gegevensbewerker en de blootstellingsmotor die in een flexibel en gebruikersvriendelijk systeem samenwerken.
Het systeem neemt een interactief grafisch gebruikersinterface op (GUI) dat handigheid voor diverse „multigebruikersmilieu's“ verstrekt.

De „Nanotechnologie heeft het potentieel ons toekomstig leven in alle aspecten diep om te beïnvloeden. EBPG5200 stelt de kans open om hoogste flexibiliteit te handhaven en om onze onderzoekactiviteiten op spoor met de opwindende vereisten van de toekomst“ te houden, zei Prof. Paulo Freitas, de Directeur -generaal van de Afgevaardigde bij INL.

Commentaar Gevend op de aankondiging van vandaag, Rainer Schmid, Algemene Manager bij Vistec Lithografie, nam van Inc. nota: „In Vistec, geloven wij dat het essentieel om zich op belangrijke onderzoekorganisaties op het bemoedigende gebied van nanoscience en nanotechnologie is te richten. Dat is waarom wij door de keus van INL om ten gunste van een EBPG5200 geëerd voelen te beslissen.“

Bron: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 12. January 2012 03:51

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit