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カールツァイスオリオンプラスナノファブリケーションへのサブナノメートルイメージングを超えてヘリウムイオン顕微鏡の移動

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

科学者は現在、ナノパターニングにおけるヘリウムイオン顕微鏡の新しい用途を調査しています。それは従来の電子ビームリソグラフィの近接効果によって制限されていないため、ヘリウムイオン技術はこれまで細かい機能の印刷になる場合は特に、新進気鋭の代替と思われる。

2年間の場合は、からオリオン®プラスヘリウムイオン顕微鏡カールツァイスは、サブナノメートルの分解能(解像度仕様<0.35 nm)を試料と柔らかな素材を絶縁被覆していない画像でその優秀性を知られている。今すぐ - ORIONの楽器の成長のインストールベースを持つ - 学術および産業のR&Dは顕微鏡は、ナノ加工を含むようにアプリケーションの多様性を拡張している。

他のチームは、レジストHSQでも線引きL -小節線を実証している間、研究者は、14 nmのピッチの5 nmのドットパターン化している。パターン忠実度のこの新しい体制は、顕微鏡の分野の大規模な深さで、典型的なレジスト材料の二次電子を開始したイオンの短い範囲で有効になっています。 HSQのヘリウムイオン定義されたパターンは、簡単に多くの場合、従来の光と電子ビームリソグラフィに関連した通常の狭いプロセスウィンドウの制約なしに得ることができます。

魏呉、新しいオリオンの顧客、およびスタンウィリアムの情報と、カリフォルニア州パロアルトにあるHP Labsで量子系研究室、で上級研究員によると"我々は可能な限り最小のナノの製造とイメージングに関する研究を促進することを楽しみにして - 電子とナノフォトニック機能。私どもの記録的な研究を継続できるようになるユニークな、強力なツールとして、ORIONの楽器を参照してください。"

このエキサイティングな開発の詳細については、9月19-24、2010年リオデジャネイロ、ブラジル、国際顕微鏡学会(IMC17)でCarl Zeiss SMTのブースを訪問したり、カールツァイスSMTの販売代理店にお問い合わせください。

Last Update: 14. October 2011 05:06

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