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卡爾蔡司歐麗安加上超越亞納米成像氦離子顯微鏡移動到納米加工

Published on September 20, 2010 at 8:42 AM

科學家目前正在研究氦離子顯微鏡在納米圖形的新用途。由於它不是由傳統的電子束光刻的鄰近效應有限,氦離子技術似乎是一個和未來的替代品,尤其是當談到以往印刷更精細的特點。

兩年多來,“獵戶座”®加氦離子顯微鏡卡爾蔡司已經在成像已知其卓越的無塗層的絕緣樣品亞納米分辨率(分辨率規格<0.35納米)和軟質材料。 - 獵戶座的儀器越來越安裝基地 - 學術界和工業界研發顯微鏡正在擴大應用的多樣性,包括納米製造。

研究人員有圖案的5一個 14納米的間距的納米點,而其他球隊已經證明,在HSQ以及劃定 L型線抵抗。顯微鏡領域的大深度和短距離的離子啟用這個新政權圖案逼真,是典型的抵抗材料發起二次電子。 HSQ氦離子定義模式可以很容易地獲得,沒有通常的狹窄往往與傳統的光學和電子束光刻工藝窗口約束。

據魏吳,一個新的獵戶座大客戶,和一個在斯坦威廉的信息和量子系統實驗室惠普在加利福尼亞州帕洛阿爾托實驗室,高級研究科學家“我們期待向前推進我們的研究有關的製造和的最小可能的納米成像 - 電子和納米光子的功能。我們看到作為一個獨特的,強大的工具,將使我們能夠繼續我們的破紀錄的研究的歐麗安儀器。“

為了了解這一激動人心的發展,在國際顯微鏡大會(IMC17)在里約熱內盧,巴西,訪問於 2010年9月19-24,卡爾蔡司SMT展位,或聯繫您的卡爾蔡司SMT銷售代表。

Last Update: 6. October 2011 04:38

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