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WNLO, zum von Elektronenstrahl-Lithographie-Fähigkeits-Dank Vistec zu erhalten

Published on January 16, 2012 at 5:36 PM

Vistec-Lithographie, B.V. freut sich, dieses Wuhan-Nationale Laboratorium für Optoelektronik (WNLO) an der Huazhong-Hochschule Für Wissenschaft Und Technik (HUST) in Wuhan, P.R. heute anzukündigen von China kennzeichnete weg von seiner Elektronträger Lithographieanlage Vistec EBPG5000pES.

Elektronenstrahllithographieanlage Vistecs EBPG5000pES.

Die WNLO, ein nationales Labor auf dem Gebiet von Optoelektronik, HUST, eine nationale Schlüsseluniversität in China und Vistec-Lithographie, ein führender Lieferant von Elektronträger Lithographieanlagen, halten dieses Ereignis für einen bedeutenden Meilenstein in ihrer strategischen Partnerschaft.

Die Elektronträger Vistecs EBPG5000pES Lithographieanlage aktiviert WNLO, seine führende Stellung in photonics und Optoelektronikforschung und entwicklung weiter zu verstärken. „Das EBPG5000pES ermöglicht uns, um alle Lithographieherausforderungen zu erzielen, die wir in unserer Forschung gegenüberstellen. In Bezug auf Anwendungshalterung und -service wissen wir, dass wir auf dem Vistec-Team als unser strategischer Partner gelten können“, angegebener Prof Jinsong Xia, Direktor der Optoelektronischen Mikro- u. Nano-Fälschung und des Kennzeichnungs-Teildienstes (OMFC) an WNLO.

Das Vistec EBPG5000pES ist ein Spitzenlithographiehilfsmittel, das auf zuverlässiger und gut-erwiesener Anlagenarchitektur basiert. Mit seiner flexiblen Elektron-optischen Quelle der Spalte und der hohen Helligkeit TFE 50 und Operation 100kV erlaubend, stellt aktiviert die Anlage eine Spotgröße unten zu <2.2nm zur Verfügung und so Nano-lithographie Zellen, die, routinemäßig erzeugt zu werden kleiner als 8nm sind. Die Anlage enthält eine interaktive grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Benutzerfreundlichkeit für verschiedenes zur Verfügung stellt, Gemeinschafts, Hochschulbaumuster Umgebungen.

„Wir sind sehr erfreut, diesen beträchtlichen Meilenstein in unserer Partnerschaft mit WNLO an HUST erreicht zu haben, das sicherlich sein kann, dem Vistec sie zum sehr besten“ unterstützen wird, sagten Erwin Mueller, Lithographie Direktor-Vistec, B.V., „, welches die Elektronenstrahllithographieanlage an WNLO das erste Betriebs-Vistec EBPG5000pES in der Volksrepublik China ist, die öffnet große Gelegenheiten zu einer dauerhaften wirtschaftlichen Entwicklung für Vistec in dieser Region.“

Last Update: 16. January 2012 23:42

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