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SEMATECH, Associé d'Inpria Pour Aborder les Défis Principaux en Lithographie d'EUV

Published on April 25, 2012 at 2:16 AM

Par Cameron Chai

Le consortium Global des fabricants de puces, SEMATECH a enregistré qu'Inpria, un spécialiste en matériaux chimiques pour le dépôt de film mince d'oxyde de performances supérieures, est allé bien à un membre de SEMATECH Résistent aux Matériaux et au Centre de Développement (RMDC) à l'Université à l'Université d'Albany du Scientifique et Technique de Nanoscale (CNSE).

En tant qu'élément du programme de la lithographie de SEMATECH, SEMATECH et Inpria partner sur la clé résistent à des défis en lithographie ultra-violette (EUV) extrême. Inpria minéral résiste expliquent la résistance très élevée gravure à l'eau forte et ont résolu 11 caractéristiques techniques de ligne/espace de nanomètre. Dans ce partenariat, SEMATECH et Inpria utiliseront des ces haute définition résiste pour la qualification de 0,5 blocs optiques de représentation de NA EUV au noyau des mises à jour majeures actuelles pour avancer résistent à la recherche pour la moitié-hauteur de son du £ 11 nanomètre dans RMDC. Inpria améliorera également le son résistent à la photosensibilité des matériaux pour accomplir des besoins de productivité d'applications de production prochaines.

Le partenariat entre SEMATECH et Inpria sera établi sur les matériaux du semi-conducteur d'Inpria et les procédés de structuration avancés et le leadership sur le marché réputé de SEMATECH, l'expérience de semi-conducteur, et le réseau d'une grande portée des compétences et du matériel de recherches. RMDC offrira l'accès à de nombreux outils de métrologie et deux à outils de micro-exposition installés à CNSE et à l'Université de Californie, Berkeley.

Selon Andrew Grenville, le Président Directeur Général chez Inpria, la compagnie peut influencer cette collaboration pour accélérer le développement des matériaux de lithographie d'EUV. Ce partenariat est un autre testament à l'engagement de la société d'aborder les délivrances importantes de lithographie produites par l'entreprise de semiconducteurs.

Directeur de SEMATECH de la Lithographie, Stefan Wurm a déclaré que cette collaboration renforcera la capacité de RMDC d'aborder la clé résistent à des défis en matériaux avancés et trouve rapidement les solutions adaptées pour ces défis communs de technologie.

Source : http://www.sematech.org

Last Update: 25. April 2012 03:29

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