Posted in | Nanolithography

SEMATECH, Partner Inpria om Zeer Belangrijke Uitdagingen in Lithografie Aan Te Pakken EUV

Published on April 25, 2012 at 2:16 AM

Door Cameron Chai

Het Globale consortium van spaanderfabrikanten, heeft SEMATECH gerapporteerd dat Inpria, een specialist in chemische materialen voor superieur prestatiesoxyde het dunne filmdeposito, een lid van SEMATECH'S ZICH is geworden tegen Materialen en het Centrum van de Ontwikkeling (RMDC) bij de Universiteit bij de Universiteit van Albany van Wetenschap Nanoscale en Techniek (CNSE) Verzet.

Als deel van Sematech- lithografieprogramma, zullen SEMATECH en Inpria partner op sleutel tegen zich uitdagingen in extreme ultraviolette lithografie (EUV) verzetten. Anorganische Inpria verzet tegenzich aantoont zeer hoog ets weerstand en 11 NMlijn/ruimteeigenschappen opgelost. In dit vennootschap, zullen SEMATECH en Inpria deze high-resolution gebruiken verzetten tegenzich want de kwalificatie van 0.5 de weergaveoptica van NA EUV bij de kern van de aan de gang zijnde belangrijkste vooruit te gaan zich verbeteringen tegen onderzoek voor £ 11 NM helft-hoogte in RMDC verzet. Inpria zal ook zijn verzet zich tegen photosensitivity van materialen verbeteren om productiviteitsbehoeften aan aanstaande productietoepassingen te vervullen.

Het vennootschap tussen SEMATECH en Inpria zal op de geavanceerde halfgeleider van Inpria worden voortgebouwd vormend materialen en processen en van SEMATECH befaamde marktleiding, halfgeleiderervaring, en verreikend netwerk van onderzoekdeskundigheid en hardware. RMDC zal toegang tot talrijke metrologiehulpmiddelen en twee micro-blootstelling hulpmiddelen die bij CNSE worden geïnstalleerd en de Universiteit van Californië, Berkeley aanbieden.

Volgens Andrew Grenville, kan de Ambtenaar van de President in Inpria, het bedrijf hefboomwerking deze samenwerking de ontwikkeling van EUV lithografiematerialen versnellen. Dit vennootschap is een ander testament aan de verplichting van het bedrijf om belangrijke lithografiekwesties te behandelen die door de halfgeleiderindustrie worden ontmoet.

Directeur van SEMATECH van Lithografie, Stefan Wurm verklaarde dat deze samenwerking de capaciteit van RMDC zal versterken om sleutel zich aan te pakken verzet tegen uitdagingen in geavanceerde materialen en snel vindt geschikte oplossingen voor deze gemeenschappelijke technologieuitdagingen.

Bron: http://www.sematech.org

Last Update: 25. April 2012 03:29

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit