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Posted in | Nanofabrication

石油化学的 Kumho 连接 SEMATECH 在 Nanoscale 科学和工程学院抵抗中心

Published on June 7, 2012 at 3:50 AM

由意志 Soutter

光致抗蚀剂材料基于韩国的制造商, Kumho 石化产品,成为 SEMATECH 的成员抵抗材料和开发中心 (RMDC) 位于 Nanoscale 科学和工程阿尔巴尼的学院大学。

SEMANTECH 是主要半导体和材料制造商财团全世界。 在过去 25 年期间,这个组织是有助的在变换的研究基于创新到实用的解决方法启用制造。 SEMATECH 完成的这个工作在 RMDC 目标实现抵抗制造商开发应用的材料在 22 毫微米节点。 此工作由被资助的大学研究方案补充。 中心也有极其紫外材料的风险 (EUV)功能。 小组的包括从 Kumho 的将加速发展抵抗和 22 个毫微米功能的 EUV 材料。

Kumho 石化产品的持续的研究自 1989年以来在光致抗蚀剂的域导致拥有 65 106 个专利的公司申请先进的光致抗蚀剂技术在韩国。 苌氏最小的金,电子化工业部件的资深副总裁在 Kumho 的谈论了在过去十年开始与 ArF 光致抗蚀剂和随后的增量的此域的公司的工作在收入在 FPD 化学制品和半导体的域。 他阐明,与 SEMATECH 的 Kumho 的协作在其 EUV 石版印刷程序是与公司的目的成直线是在这个电子物质行业顶部。 除 SEMATECH 的半导体经验和研究专门技术外,通过这个会员, Kumho 将得以进入对 (METs) RMDC 的计量学工具和微型风险工具的。

来源: http://www.sematech.org

Last Update: 7. June 2012 04:50

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